使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標準品（干），粒度標準簡化校準晶片的制備，用于掃描表面檢測系統(tǒng)（SSIS）的校準和維護?？捎玫牧綄趦x器制造商要求的校準點尺寸。

賽默飛已設計生產(chǎn)了特定大小的微粒用來校準用于半導體工業(yè)的掃描表面監(jiān)測系統(tǒng)(SISS)。

通過與儀器生產(chǎn)商合作，研發(fā)生產(chǎn)出Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)系列產(chǎn)品以滿足SEMI 標準規(guī)則要求。可提供的微粒尺寸包括半導體技術(shù)藍圖 (ITRS)¹定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點的大小。

使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標準品(干)，粒度標準簡化校準晶片的制備，用于掃描表面檢測系統(tǒng)（SSIS）的校準和維護?？捎玫牧綄趦x器制造商要求的校準點尺寸。

 

特點：

• Surf-Cal標準品可用來簡化您工廠內(nèi)校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產(chǎn)商要求的校準點大小*。
• 將 Surf-Cal 系列 NIST 溯源的聚苯乙烯微粒置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。
• 您也可以在生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵階段對SSIS 系統(tǒng)進行性能評估。
• 這一系列標準品懸浮于去離子過濾水中，以終濃度3×10 ^8個微粒/ mL、50ml瓶裝的規(guī)格包裝。PD1100 系列產(chǎn)品以及更小的微粒也提供濃度為10 ¹⁰微粒/mL 的規(guī)格，主要用于微分遷移率分析儀（DMA）或其它尺寸排除技術(shù)輔助的領(lǐng)域。

 

測量方法：

為了確保能直接溯源至NIST，這些產(chǎn)品獲得認證的直徑是通過投射電子顯微鏡，或光學顯微鏡由NIST標準參考物質(zhì)²轉(zhuǎn)移而得的。不確定度是根據(jù)NIST技術(shù)注釋1297, 1994版―評估與表達NIST測定結(jié)果不確定度的導則³計算而得。認證證書中標明的不確定度值是采用覆蓋因子2(K=2)擴展后的不確定度。

峰值直徑是采用微粒尺寸分布±2s的范圍計算而得。計算的尺寸分布作為峰值的標準偏移圖。變異系數(shù)是指一個標準差與峰值直徑的百分比。FWHM分布是半峰值高的分布占據(jù)峰值直徑的百分比計算而得的。

1. ―半導體技術(shù)藍圖 (ITRS)‖, 半導體工業(yè)協(xié)會 (1999)

2. S.D. Duke 與 E.B. Layendecker, ―采用電子顯微鏡進行亞微球粒子的尺寸校準的標準方法‖, 精密粒子協(xié)會 (1988)

3. Barry N. Taylor 與Chris E. Kuyatt, ―評估與表達NIST測定結(jié)果不確定度的導則‖.NIST 技術(shù)注釋 1297, 1994 版, 9月，1994.

 

技術(shù)參數(shù)

成分：聚苯乙烯

密度：1.05g/cm3

折射指數(shù)：1.59@589nm(25°C)

添加劑：無

 

標稱直徑	瓶裝規(guī)格	大約數(shù)量/g	貨號
均一的 PS-DVB 干微球 – 光學顯微鏡校準
5 μm	1g	1.4 x 1010	DC-05
6 μm	1g	8.4 x 1010	DC-06
7 μm	1g	5.5 x 109	DC-07
8 μm	1g	4.3 x 109	DC-08
10 μm	1g	1.8 x 109	DC-10
15 μm	1g	4.3 x 108	DC-15
20 μm	1g	2.3 x 108	DC-20
25 μm	1g	1.1 x 108	DC-25
50 μm	1g	1.4 x 107	DC-50
70 μm	1g	5.7 x 106	DC-70
100 μm	1g	2.0 x 106	DC-100