聚焦離子束掃描電子顯微鏡雙束系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱雙束電子顯微鏡）是指同時(shí)具備聚焦離子束（FIB）和掃描電子顯微鏡（SEM）功能的系統(tǒng)。就是把FIB系統(tǒng)和傳統(tǒng)掃描電子顯微系統(tǒng)按一定的角度同時(shí)裝在一個(gè)裝置上，把試樣調(diào)節(jié)到共心高度位置。這就使得試驗(yàn)時(shí)可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)試樣臺(tái)使試樣表面與電子束或者離子束垂直，從而最終達(dá)到對(duì)電子束進(jìn)行實(shí)時(shí)觀測(cè)和對(duì)離子束進(jìn)行切割或者微加工等效果。
FEI Scios DualBeam 雙束電子顯微鏡是一款超高分辨率 DualBeam™ 分析系統(tǒng)，能為包括磁性材料在內(nèi)的眾多樣本提供出色的二維和三維性能。FEI Scios 的創(chuàng)新功能可提高通量、精度與易用性，非常適于學(xué)院、政府和工業(yè)研究環(huán)境中的納米量級(jí)研究與分析。
高級(jí)檢測(cè)技術(shù)是 FEI Scios 的核心技術(shù)。透鏡內(nèi) FEI Trinity™ 檢測(cè)技術(shù)能夠同時(shí)收集所有信號(hào)，既節(jié)省了時(shí)間還能形成鮮明的對(duì)比度，從而有助于采集盡可能多的數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的透鏡下同心后散射檢測(cè)器能提高效率，使您可以根據(jù)信號(hào)的角分布選擇信號(hào)，從而輕松分離材料和形態(tài)對(duì)比度，即使著陸能量為 20 eV 也是如此。
FEI Scios DualBeam 雙束電子顯微鏡特別適合用于金屬、復(fù)合物和涂層等眾多材料，能夠：
執(zhí)行高分辨率、高對(duì)比度成像，對(duì)磁性樣本也不例外
使用的 Trinity 檢測(cè)套件同步檢測(cè)材料、形態(tài)和邊緣對(duì)比度，從而分析材料的全部屬性
借助漂移抑制光刻，無(wú)需制備樣本即可制作具有位置特異性的切片，甚至可以對(duì)非導(dǎo)電材料進(jìn)行操作
生成三維數(shù)據(jù)立方體確定金屬中夾雜物的大小和分布，或?qū)α鸭y尖部各個(gè)方向的應(yīng)力和應(yīng)變進(jìn)行分析
搭配 EasyLift™ 可快速可靠地制備高質(zhì)量樣本，而且只需最小的電子束能量即可獲得最高質(zhì)量的 S/TEM 結(jié)果
針對(duì) DealBeam TM 常見(jiàn)應(yīng)用提供的“用戶指南”和逐步工作流，使得任何經(jīng)驗(yàn)水平的操作員都能即刻上手
有效的生物成像需要使用能夠支持眾多不同應(yīng)用且不會(huì)降低對(duì)比度和分辨率的多功能設(shè)備。FEI Scios 是一款特別易于使用且能力出眾的儀器，能使您的眾多不同應(yīng)用和工作流更具靈活性，功能更強(qiáng)大，而且借助高效和增值工作流， Scios 能讓您在較短時(shí)間內(nèi)獲得較為準(zhǔn)確的結(jié)果。
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