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Cressington 108Auto
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更新時間:2025-03-02 21:00:08

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Cressington 108C Auto 全自動鍍碳儀是用于掃描電鏡的的鍍碳儀系統(tǒng)●的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚大約 20nm 左右進行多次蒸發(fā),無須切削或調(diào)整碳棒形狀?!?08C Auto 中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。該鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,容易操作,抽真空周期短。選件 MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度?!袷褂眯滦偷恼舭l(fā)裝置:電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控,蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低,碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。●自動模式下,蒸發(fā)源按程序設(shè)定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下,的設(shè)計允許以脈沖或連續(xù)的方式操作,并通過旋鈕控制輸出電壓。 ●可配備 MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)(分辨率優(yōu)于 0.1nm,-99.9nm 到+999.9nm)

技術(shù)規(guī)格:

樣品倉尺寸:   120 x 120mm(高)   (4.75 x 4.75"),高強度不銹鋼結(jié)構(gòu)

濺鍍材料:Bradley   型高純度碳棒   (6.15mm, [1/4"])

濺鍍優(yōu)點:基于微處理器反饋控制,遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng);提供真空安全聯(lián)鎖裝置,最

大180A,配有過流保護

樣品臺:可放置12 個標(biāo)準(zhǔn) SEM 樣品座,高度可在   60mm 內(nèi)調(diào)節(jié)

模擬計量:真空   Atm - 0.01mb   電流: 0 - 200A

厚度監(jiān)測器:   MTM-10 高精度厚度監(jiān)測器(選配)

控制方式:   自動蒸鍍控制,使用可編程電壓控制和計時;可選擇手動操作或自動控制

數(shù)字計時   (0 – 30 秒),數(shù)字電壓設(shè)定   (0.1 to 6.0V)

電源:200-240 VAC, 50/60Hz

功率:1000VA (包括鍍碳機和真空系統(tǒng))

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