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Bronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計和控制器

高純度氣體應(yīng)用

Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運用場合。質(zhì)量流量計和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。

l 最小流量范圍：0.12…6 mln/min

l 最大流量范圍： 1… 50 ln/min

EL-FLOW® 產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能，為客戶（OEM）提供可選的靈活性以及高效率工藝。為方便客戶使用，Bronkhorst提供免費且便于操作的配置軟件。

特點

l 高準(zhǔn)確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS)

l 可進行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)（無密封圈）

l 電拋光過流部件

l 無塵組裝

l 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能

l 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接：

l DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS

l 無零飄（不需要零點自動調(diào)整電路）

l 高精度、重復(fù)性高

Bronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計和控制器

EL-FLOW金屬密封 F-111CM

金屬密封氣體質(zhì)量流量計

l 金屬密封結(jié)構(gòu)

l 電拋光接液部件

l 潔凈室組裝

l 高精度，高重復(fù)性

l 多氣體/多量程功能（可選）

金屬密封氣體質(zhì)量流量計

Bronkhorst®  F-111CM質(zhì)量流量計為滿足半導(dǎo)體市場以及其他高純度氣體應(yīng)用而設(shè)計。儀表表面光潔度高，采用模塊化結(jié)構(gòu)，金屬密封，長期密封性好。F-111CM適用于在真空到1500 psig (100 bar)條件下準(zhǔn)確測量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之間的流量。

EL-FLOW® 金屬密封系列配備數(shù)字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。數(shù)字PC板包含測量和控制所需的通用功能。除了標(biāo)準(zhǔn)RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號。可選安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW® 金屬密封系列設(shè)計具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。

EL-FLOW 金屬密封 F-201CM

金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器

l 金屬密封結(jié)構(gòu)

l 電拋光接液部件

l 潔凈室組裝

l 高精度，高重復(fù)性

l 多氣體/多量程功能（可選）

l 快速穩(wěn)定時間 (低至 600 msec)

金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器

Bronkhorst®  F-201CM質(zhì)量流量控制器為滿足半導(dǎo)體市場以及其他高純度氣體應(yīng)用而設(shè)計。儀表表面光潔度高，采用模塊化結(jié)構(gòu)，金屬密封，長期密封性好。F-201CM適用于在真空到1000 psig (64 bar) 條件下準(zhǔn)確測量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之間的流量。

EL-FLOW® 金屬密封系列配備數(shù)字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。數(shù)字PC板包含測量和控制所需的通用功能。除了標(biāo)準(zhǔn)RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號?？蛇x安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW® 金屬密封系列設(shè)計具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。

金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)：

金屬密封氣體質(zhì)量流量計、流量控制器尺寸圖：

金屬密封氣體質(zhì)量流量計、流量控制器選型表：