ULVAC 愛(ài)發(fā)科 DIS-252 渦旋式干真空泵

真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)

被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講

，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和

維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型

，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工

、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此

任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作

壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作

要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真

空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組

合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑

閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民

經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中的主力泵種。

近年來(lái)， 伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)

下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)

域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)

了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。

（1）泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比

較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故

這種型式多用于小泵。

臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)

管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)

、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右

兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接

旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一

般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙

容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較

高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。

（2）泵的傳動(dòng)方式

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)

同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)

構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)

子的同一側(cè)如圖。

從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng)，這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)

子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)

軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)

程中均勻。

這種傳動(dòng)方式的最大缺點(diǎn)是：a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承，

增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便

；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一

側(cè)。

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(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)

。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損

失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空

系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被

抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查

比較困難。

⑴真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響

。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振

動(dòng)措施。

⑵了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆

?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體

成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸

氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路

上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

⑶真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程

中產(chǎn)生的全部氣體量。

⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而

，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合

起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。

如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型

濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬

有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較

好的真空度。

另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；

有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需

要把泵組合起來(lái)使用。

⑸真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，

應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射

離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵

，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等

，也能達(dá)到清潔真空要求。

⑹正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作

壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍

760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的

抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線）

，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工

作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在

25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。

⑺真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境

不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到

室外。

⑻真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工

作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真

空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好

能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)

備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

⑼真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。