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池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第3年

17607554908

當(dāng)前位置:池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司>>HORIBA堀場(chǎng)>> PE-D20全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元

全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元

參   考   價(jià): 8432

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)PE-D20

品       牌HORIBA/堀場(chǎng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2024-08-07 16:04:23瀏覽次數(shù):268次

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應(yīng)用領(lǐng)域 農(nóng)林牧漁,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 訂貨號(hào) 176.0755.4908.
全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程(T98)
尺寸緊湊,

全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元

全新HORIBA堀場(chǎng) 緊湊機(jī)身中的控制單元

隨著半導(dǎo)體制造薄膜沉積工藝中微細(xì)加工的進(jìn)步,處理后保持腔室清潔對(duì)于提高生產(chǎn)率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)監(jiān)視器,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)廢氣成分(SiF4、CF4)。通過(guò)優(yōu)化干洗終點(diǎn)檢測(cè)、減少清潔氣體消耗和時(shí)間以及減少室損壞,有助于延長(zhǎng)零件的使用壽命。

寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開(kāi)始執(zhí)行

高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng):1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個(gè)流量范圍內(nèi)(上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值)響應(yīng)時(shí)間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣(15-60℃)

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過(guò)程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

級(jí)別,

尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個(gè)四極桿部分,具有的結(jié)構(gòu),盡管其尺寸最小,但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空(高壓)操作

當(dāng)測(cè)量總壓力高達(dá) 0.5 Pa(對(duì)于 2-65 m/z 傳感器)時(shí),無(wú)需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準(zhǔn)過(guò)濾器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換,無(wú)需拆卸設(shè)備。

一臺(tái)安裝了專用通信

軟件的 PC 通過(guò) RS-485 通信最多可以連接 8 臺(tái)設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開(kāi)發(fā)的,可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。


















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