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當前位置:池田屋實業(yè)(深圳)有限公司>>HORIBA堀場>> EC-5202總經(jīng)銷HORIBA堀場 高分辨率性能排氣壓力控制器
產(chǎn)品型號EC-5202
品 牌HORIBA/堀場
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-08-07 16:55:35瀏覽次數(shù):312次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)HORIBA堀場 數(shù)字水質(zhì)計pH 計 D-220P-S
HORIBA堀場 現(xiàn)場型便攜式pH計 D-210P
HORIBA堀場 WQ - 320PD-S多數(shù)字 pH/光學 DO 套
HORIBA堀場 WQ-310D-S 便攜式多功能數(shù)字水質(zhì)計
HORIBA堀場 WQ-310P-S 多功能數(shù)字水質(zhì)計
產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 1萬-5萬 |
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試驗力加載速率 | 見資料 | 壓板間距 | 見資料mm |
應用領域 | 建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 | 最大試驗力 | 見目錄KN |
訂貨號 | 176.0755.4908. |
總經(jīng)銷HORIBA堀場 高分辨率性能排氣壓力控制器
總經(jīng)銷HORIBA堀場 高分辨率性能排氣壓力控制器
對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制,還可以進行流量測量。
業(yè)務部門:半導體
產(chǎn)品類別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進行精確的壓力控制。
壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。
對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制,還可以進行流量測量。
業(yè)務部門:半導體
產(chǎn)品類別:流體控制
制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.
供貨精準穩(wěn)定
配備質(zhì)量
流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器,可以以與原料氣體供應過程相同的精度監(jiān)控實際流量。
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以進行類似的設計和構造。
符合RoHS指令
這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器,該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應壓電閥。
采用全金屬結(jié)構(氣體接觸部分)和無死體積結(jié)構,可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進行遠程控制,非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中,例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。
互動規(guī)模 | 西北40 |
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氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
電導 (真空區(qū)域) | 0.4~80升/秒 |
流出量100mmH2O (全閉) | 20升/分鐘 |
互動規(guī)模 | 西北50 |
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氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
電導 (真空區(qū)域) | 0.6~200升/秒 |
流出量100mmH2O (全閉) | 25升/分鐘 |
互動規(guī)模 | 25mm Teflon® 接頭 1 英寸 Teflon® 接頭 |
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氣體接觸材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
電導 (真空區(qū)域) | 0.4~80升/秒 |
流出量100mmH2O (全閉) | 3升/分鐘 |
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