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應(yīng)用領(lǐng)域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號	176.0755.4908.

直售ULVAC愛發(fā)科 CR30B 多級羅茨型干泵設(shè)備

特點(diǎn)

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型號		CR16B	CR30B	CR60B-S	CR60B-T	CR300B
最大排氣速度	m³/h	16	30	55		300
	L/min	280	500	920		5000
到達(dá)壓力 *1	Pa	≦3.0				≦0.5
最大排氣壓力（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力（排出圧力）		大氣壓
電源 *2		單相 : 100V, 200V　三相 : 200V		單相:200V	三相 : 200V	三相 : 200V
電機(jī)額定功率	kW	0.72		1.5		3.0
吸氣口		KF25		KF40		KF50
排氣口		KF25		KF40
質(zhì)量	kg	35		48		100
符合規(guī)格		CE、cTUVus
冷卻方式		空冷
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu) *3		選配件
最大水蒸氣處理量 e *4	g/h	<300		<500
標(biāo)準(zhǔn)附件		電源用連接器、信號用連接器、使用說明書、空氣過濾器、護(hù)套

※1 極限壓力是氣鎮(zhèn)閥內(nèi)沒有氣體時(shí)的值。
※2 請從上表中選擇使用電源的相位和電壓，訂購時(shí)注明。
※3 氣鎮(zhèn)用閥門為選裝件。
※4 使用氣鎮(zhèn)時(shí)候的最大水蒸氣處理量。水蒸氣排氣時(shí)請務(wù)必使用氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)。

機(jī)身選項(xiàng)

型號		CR16B	CR30B	CR60B	CR300B
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)	針閥	〇	〇	〇	〇
氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)	電磁閥 + 針閥	〇	〇	〇	〇
橡膠腳墊		〇	〇	〇	〇

配件

型號		CR16B	CR30B	CR60B	CR300B
消音器	RS-01＋套件 D	〇	〇	-	-
	RS-01＋套件 A	-	-	〇	-
	RS-01＋套件 C	-	-	-	〇
簡易型消音器 *1	EFS-11-NW25/2/2516	〇	〇	-	-
簡易型消音器 *1	EFS-19-NW40/1 *2	-	-	〇	〇
電源互換BOX	Ver.A→Ver.B	〇	〇	〇	〇