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應(yīng)用領(lǐng)域	石油,建材/家具,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合	序列號(hào)	176.0755.4908.

新品ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵消音器RS系列

特點(diǎn)

通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

當(dāng)使用干泵時(shí)可選配，用于降低排氣噪音。

特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時(shí)間。

■ECO-SHOCK技術(shù)實(shí)現(xiàn)低功耗（C型號(hào)）

　極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）

■配有專用的消音器

　極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低

■無需先前所需要的軸封氣體

　※L型可以使用稀釋氣體。

■排氣速度120-1200 m3 / h級(jí)　※可與機(jī)械增壓泵結(jié)合使用

　可以根據(jù)應(yīng)用選擇最佳排氣能力的型號(hào)

得點(diǎn)

出色的消音效果

可以通過卡箍連接到泵的排氣口

規(guī)格

消音器套件名稱	適用泵	附屬品
消音器套件名稱	適用泵	卡箍	O型座	連接配管	支架
RS-01 套件A	CR60B,LR60,90,300,GR60A,90A	1	1	ー	ー
RS-01 套件B	LR600,1200	2	2	1	1
RS-01 套件C	CR300B,GR180A	2	2	1	1
RS-01 套件D	CR16B,30B	1	1	1	ー
RS-02 套件A	LR180(LR60,90,300)	2	2	1	1
RS-02 套件B	LR1800(LR600,1200)	2	2	1	1
RS-03 套件A	LR421(-T)	1	1	1	1
RS-03 套件B	LR3601(-T/TT/R/TR/TTR)	3	3	1	1
EFS-11-NW25/2/2516(*1)	CR16B,30B	1	1	ー	ー
EFS-19-NW40/1(1)(2)	CR60B,300B	1	1	ー	ー

*1 有害氣體的情況下不能使用。
*2 不能連接后方配管的開放型。

消音效果（參考值）

Unit: dB(A)

型號(hào)	電源頻率	消音器		消音效果
型號(hào)	電源頻率	無	有	消音效果
RS-01	50Hz	81	70	11
RS-01	60Hz	88	69	19
RS-02	50Hz	84	72	12
RS-02	60Hz	93	73	20
RS-03	50/60Hz	71	67	4

*1 運(yùn)轉(zhuǎn)條件是在極限壓力狀態(tài)下導(dǎo)入稀釋氣體5SLM。

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