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測量原理	見參數(shù)	產(chǎn)地類別	進(jìn)口
價格區(qū)間	2千-5千	量程	見參數(shù)mbar
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合	真空接口	見參數(shù)
序列號	176.0755.4908.

ULVAC愛發(fā)科 SW1-2 真空計(jì)傳感器類型

操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

真空防潮箱由真空泵制造商提供。

目的

太陽能電池?FPD?半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備
用于設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于有振動·沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)

規(guī)格

模型	SW1-1	SW1-2
可連接傳感器頭	1個
兼容傳感器頭	SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（φ18）、SWP-P15（φ15）、SWP-CF16（ICF034）、SWP-1S（ASME BPE衛(wèi)生級1"）
可測壓力范圍	5.0×10 ^-2 ~ 1.0×10 ⁺⁵ Pa（Pa（表示范囲：1.0×10 ^-2 ~ 1.2×10 ⁺⁵ Pa）
準(zhǔn)確性*	1×10 ^-1 Pa ~ 1×10 ⁺⁴ Pa ： ±10%
	5.0×10 ^-2 ~ 1.0×10 ^-1 Pa、1×10 ⁺⁴ Pa ~ 1×10 ⁺⁵ Pa：±20%
重復(fù)性	1×10 ^-1 Pa ~ 1×10 ⁺⁴ Pa : ±2%
采樣時間	50ms 5回の移動平均處理
值輸出	輸出電壓DC0至10V
	壓力指示（對數(shù)）1.7V 至 8.0V 1V/十倍
	（更新時間）50ms
控制輸入信號	開路集電極輸入，負(fù)邏輯	-
	ADJ調(diào)整（零點(diǎn)、大氣調(diào)整）	-
控制輸出信號	開路集電極輸出，負(fù)邏輯 [額定值：30VMAX、50mAMAX、70mW]	-
	錯誤信號	-
	設(shè)定點(diǎn) 1、2	-
監(jiān)控設(shè)定點(diǎn)	設(shè)定點(diǎn)1、2：0至10V日志輸出	-
串行通訊類型	-	RS232C/RS485
LED 顯示屏	電源/錯誤：電源錯誤 LED
	SET-1：設(shè)定點(diǎn)1LED	-
	SET-2：設(shè)定點(diǎn)2LED	-
燈絲材質(zhì)	鉑
工作溫度范圍	10～40℃
工作濕度范圍	15～80% (無凝露)
IP 等級	IP30（傳感器單元）
固定位置	自由的
電源電壓	DC18V ~ 30V，2W（含電源輸入4.8W）
輸入/輸出連接器	D-sub 15 針（M2.6mm 螺絲）- 側(cè)面?zhèn)鞲衅鲉卧?/span>
重量	150克（含SWP-16）
尺寸（電源）寬×深×高	70毫米×46毫米×28毫米
標(biāo)準(zhǔn)配件	快速手冊
選項(xiàng)	輸入/輸出連接器（D-sub 15 插座（M2.6mm 螺絲））、檢查結(jié)果數(shù)據(jù)表、一般校準(zhǔn)測試報(bào)告、JCSS 校準(zhǔn)證書
適用標(biāo)準(zhǔn)	CE

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