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ULVAC愛發(fā)科 CCMT-100D 通用型陶瓷隔膜真空計

操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

規(guī)格

模型		中科大
滿量程	CCMT-1000D	133kPa（1×10 ³托，1.33×10 ³毫巴）滿量程
	CCMT-100D	13.3kPa（1×10 ²托，1.33×10 ²毫巴）滿量程
	CCMT-10D	1.33kPa（10托，13.3毫巴）滿量程
	CCMT-1D	133Pa（1 托，1.33 毫巴）滿量程
解決		滿量程的 0.003%
準(zhǔn)確度*1		±0.2％±相對示值的溫度系數(shù)（該值表示精度零點調(diào)整）
溫度系數(shù)	零電壓	0.015 %滿量程/℃
	跨度電壓	0.01% 電阻/℃
工作溫度范圍		10 至 50℃（50 至 122 °F）
回應(yīng)率		30毫秒或更短
氣體接觸段材質(zhì)		Al ₂ O ₃、Vacon70 2、SUS316 3、玻璃陶瓷焊料、Ag Ti Cu硬焊料
輸入功率		DC14～30V，1W
輸出		DC 0 至 10V 滿量程
重量		329克
方面		55毫米×117毫米
溫度補(bǔ)償		內(nèi)部溫度補(bǔ)償電路
電連接器		D-sub 15 針公頭（No.4-40，DNC 螺絲）

*1 :非線性、滯后、重復(fù)性在 25℃ (77℉) 環(huán)境工作溫度下，運行 2 小時后無溫度影響，調(diào)零后
*2 : 28% Ni、23% Co、49% Fe
*3 : 18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe