ORC歐阿希 UV-351 紫外線照度計UV測量儀器
ORC歐阿希 UV-351 紫外線照度計UV測量儀器
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量?？梢暂p松測量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量?？梢暂p松測量紫外線照度和光強(qiáng)度。根據(jù)您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
它是一種小型、輕量、手持式測量儀器，具有集成的光接收部分和主體。該測量儀器與紫外線曝光設(shè)備和紫外線輸送機(jī)兼容。
◆ 特點
? 您可以管理曝光設(shè)備、UV傳送帶等的照度和光量。
? 它是一種小型、輕量、薄型、方便攜帶的類型。
? 您可以根據(jù)您的應(yīng)用選擇UV-351（相當(dāng)于UV-SD35）、UV-351-25（相當(dāng)于UV-SD25）或UV-351-42（相當(dāng)于UV-SD42 ）型號。
? 可選擇多種測量模式，包括光強(qiáng)度測量、照度測量、峰值照度測量。
? 它具有耐熱且結(jié)構(gòu)堅固的金屬機(jī)身。
◆ 關(guān)于SD型和SN型
SN型已被長期使用我們的曝光設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用，確保了工藝管理的連續(xù)性。
SD型用于半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程現(xiàn)場，當(dāng)已經(jīng)使用其他公司照度計的客戶擔(dān)心確保與這些測量儀器（我們的曝光設(shè)備）的數(shù)據(jù)兼容性時，SD型用于投影曝光設(shè)備和液晶板外圍曝光設(shè)備），推薦給使用全新照度計的客戶。
◆ 關(guān)于SD型和SN型的指示值
為了保證與舊工藝數(shù)據(jù)的兼容性，SN型使用了SD型的指示值（在我們的測量組中測量用作輻射源的高壓UV燈的365 nm亮線進(jìn)行校準(zhǔn)）相同測量條件下）?！≌{(diào)整為比顯示時的照度值高39%
◆ 關(guān)于與其他公司的照度計、照度計的數(shù)據(jù)兼容性
與可見光的照度計和照度計（以LUX為單位測量家庭、辦公室、商店、博物館等的亮度的照度計和照度計）不同，它適用于所有紫外光的照度計和照度計，目前還沒有標(biāo)準(zhǔn)。已經(jīng)建立（JIS 標(biāo)準(zhǔn)化工作似乎僅針對少數(shù)有限的用途正在進(jìn)行）。
即使各公司的相對光譜靈敏度是為了測量主要具有 365 nm 發(fā)射線的光源的照度，也從測量的峰值波長開始（相對光譜靈敏度特性表示為 1 的波長） ，短波長側(cè)（300nm至310nm左右）和長波長側(cè)（380nm至400nm左右），上升和下降波長以及前后曲線略有不同。
在設(shè)計上也做出了努力，使接收器的接收角特性（即COS θ特性）更接近理想曲線，但現(xiàn)實情況是很少能實現(xiàn)。
| 模型 | UV-351 |
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| 測量波長范圍 | 310-385nm（相當(dāng)于UV-SD35） |
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| 測量照度范圍 | 0.1～100.0mW/c㎡ |
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| 測量光量范圍 | 1～19999mJ/c㎡ |
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| 貼合精度 | 紫外線標(biāo)準(zhǔn)的 ±1.5% 以內(nèi) |
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| 重復(fù)性 | ±1.5%以內(nèi) |
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