一個光纖與工作室相連接，用以傳輸一光學(xué)信號穿過工作液。一個光纖與工作室相連接，用以接收由光纖傳出的光學(xué)信號。一個電信號建立裝置，在光信號從光纖傳出，穿過未被污染的工作液到達(dá)光纖時，建立電信號。此電信號建立裝置，在光信號從光纖傳出，穿過被污染了的工作液到達(dá)光纖時，建立電信號。當(dāng)電信號被建立時，據(jù)此，污染材料穿過隔膜進(jìn)入工作室的泄漏問題可被檢測到。隔膜泵設(shè)備系統(tǒng)是由一個或多個雙側(cè)泵組成，一個氣動雙隔膜泵。

耙式干燥機回收
雙錐干燥機是集混合—干燥于一體的新型干燥機。￥將冷凝器、真空泵與干燥機配套，組成真空干燥裝置。￥本機設(shè)計，結(jié)構(gòu)簡單，清洗容易，物料能排出， 操作簡便，能降低勞動度工作環(huán)境（如不需回收溶劑，冷凝器可不用）。￥同時因容器本身回轉(zhuǎn)時物料亦轉(zhuǎn)動但器壁上不積料，故傳熱系數(shù)較高，干燥速率大，不節(jié)約能源，而且物料干燥均勻充分。￥可應(yīng)用于制藥、化工、食品、染料等行業(yè)物料的干燥。￥ 合“GMP"要求。￥雙錐干燥機為雙錐形的回轉(zhuǎn)罐體，罐內(nèi)在真空狀態(tài)下，向夾套內(nèi)通入蒸汽或熱水進(jìn)行加熱，熱量通過罐體內(nèi)壁與濕物料接觸。￥濕物料吸熱后蒸發(fā)的水汽，通過真空泵經(jīng)真空排氣管被抽走。￥由于罐體內(nèi)處于真空狀態(tài)，且罐體的回轉(zhuǎn)使物料不斷的上下、內(nèi)外翻動，故加快了物料的干燥速度，干燥效率，均勻干燥的目的。￥干燥速度快，一般幾秒到十幾秒鐘，具有干燥的特點。￥干燥過程中液滴的溫度比較低，適宜熱敏性物料的干燥，能夠保持物料色、香、味。￥為干燥塔產(chǎn)生粘壁現(xiàn)象，本裝置設(shè)有的結(jié)構(gòu)，地產(chǎn)品的粘壁現(xiàn)象。￥的成品風(fēng)送系統(tǒng)將干燥成品與系統(tǒng)內(nèi)的熱濕空氣及時分離,避免了干燥成品的吸濕或結(jié)塊的可能性. 真空下物料溶液的沸點降低，使蒸發(fā)器的傳熱推動力增大，因此對的熱傳量可以節(jié)省蒸發(fā)器的傳熱面積；蒸發(fā)操作的熱源可采用低壓蒸氣或沸熱蒸汽；蒸發(fā)器熱損失少 在干燥前可進(jìn)行消處理，干燥過程中不純物混入，合GMP要求；采用冷凝器，可的回收物料中的溶劑。
AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響，有甚者用于某一工序的工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個獨立工序，對AMC控制指標(biāo)的確定是復(fù)雜。IC生產(chǎn)對AMC的控制，對不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會有不同的要求，對污染物質(zhì)的要求當(dāng)前總的說法是控制在亞pptm～1pptm間。
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