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產(chǎn)品型號

1700℃立式淬火爐 GSL-1700X-80VTQ

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層不銹鋼殼體，并采用 1800℃級高純度氧化鋁纖維絕熱。

2、爐管配有絕熱管堵，減少管內(nèi)向外熱輻射。

3、爐管頂部配裝帶有不銹鋼針閥的密封法蘭，底部配有閘板閥、真空計(jì)、 KF25 真空接口。

4、頂部法蘭配有電磁鐵， 可懸掛質(zhì)量約 500g 的樣品，當(dāng)按下溫控單元上的電磁吸盤按鈕時， 樣品就會墜入淬冷水箱內(nèi)。

5、采用下置淬冷水箱，便于立即淬火。

6 、采用與爐體分離式的獨(dú)立溫控單元，PID 控制器，可設(shè)置 30 段升降溫程序，并內(nèi)置超溫報

警保護(hù)裝置， 以及 RS485 通信端口。

7 、已通過 CE 認(rèn)證，所用電器元件（>24V）已通過 UL 、MET 、CSA 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： 單相 AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、爐管： 99.8%高純度氧化鋁管， 內(nèi)徑 ?74mm ，外徑 ?80mm ，長 850mm

3、加熱元件： 4 根 1800℃級 U 型硅鉬棒

4、加熱區(qū)域： 200mm

5、恒溫區(qū)域： 65mm，精度± 5℃

6 、工作溫度：  1700℃（<1h）， 連續(xù)工作 800℃-1650℃

7、升降溫速率： 1200℃以上時為 5℃/min ，1200℃以下時為 10℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空壓力： 機(jī)械泵 50mtorr ，渦輪分子泵 10-5torr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1080mm×650mm×1500mm；重量： 190kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個

3

不銹鋼法蘭

1 套

4

熱電偶

1 個

可選配件

1 、PC 控制軟件

2、不銹鋼卡套接頭

3、分子泵

注意事項(xiàng)

1、在釋放樣品前， 必須先向爐管內(nèi)充入 5psi 氬氣，再打開閘板閥。

2、硅鉬棒是在高溫氧化性氣氛下使用的。在高溫氧化氣氛中，其表面生成一層光亮致密的 SiO2  玻璃膜，能夠保護(hù)硅鉬棒內(nèi)層不再氧化。因此，不得在 400℃-700℃之間使用，否則將會低 溫氧化致使毀壞。

3、氣氛氣體輸入端必須裝配減壓閥。在連續(xù)通氣時，輸出壓設(shè)置在 3psi 以下。若壓力水平超

過 3psi 將會對爐膛造成不可逆的損害。

4、如若爐內(nèi)是正壓條件，且未開啟放氣閥時， 切勿進(jìn)行加熱。在加熱過程中要實(shí)時觀測真空 計(jì)， 一旦爐內(nèi)壓力接近 3psi，請立即打開放氣閥，避免不可預(yù)見的損壞。

5、氣體的流量應(yīng)限于<200SCCM（200ml/min）。

6、氧化鋁管的真空極限定義為： 在管內(nèi)溫度達(dá)到 1500℃時為止，皆視為安全真空壓力范圍。