目錄:北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司>>薄膜材料生長成套設(shè)備>> 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
產(chǎn)品簡介： 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV 是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng) 和雙旋片式真空泵組成，工作溫度可達(dá) 1700℃ ，混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進(jìn)行精確的混氣，真空度可 達(dá) 5 ×10-2 torr。
產(chǎn)品型號 | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。 3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長使用壽命。 4 、采用 PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。 |
5 、已通過 CE 認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1 、電源： 單相 AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管： 99.8%高純氧化鋁陶瓷管， 外徑 ?80mm ，內(nèi)徑 ?72mm ，長 1000mm 3、加熱元件： 1800℃級硅鉬棒 8 根 4、加熱區(qū)域： 457mm 5、恒溫區(qū)域： 150mm 6 、工作溫度： 1700℃ 7、升降溫速率： 5℃/min 8、控溫精度：± 1℃ 9、真空度： 5×10-2 torr 10、泄漏率： 6mtorr/min |
真空系統(tǒng) 1、真空泵：雙旋片機(jī)械泵 2、可達(dá)真空度： 5×10-2 torr 3、法蘭：不銹鋼密封法蘭 4、針閥： 2 個不銹鋼針閥 | |
5、真空泵接口： KF-25 6、軟管接頭： 1/4″ 7、真空顯示計(jì)： LED 數(shù)字式真空顯示計(jì)， 測量范圍 0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計(jì)： 3 個， 精確度 4%FS 2、流量計(jì)范圍： 10cc/min-100cc/min ，16cc/min-160cc/min ，25cc/min-250cc/min 3、壓力表： 1 個，監(jiān)測混合氣體壓力 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：管式爐 550mm×500mm×700mm，混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm，真空機(jī)組 600mm× 600mm×700mm |
重量： 210kg | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) |
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
2
化工儀器網(wǎng)