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產(chǎn)品簡介： 多路浮子控制供氣系統(tǒng) GSL-3F 適用于控制一種到三種氣體的通入， 管式爐可以置于其上， 可 用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐，可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
產(chǎn)品型號 | 多路浮子控制供氣系統(tǒng) GSL-3F |
主要特點 | 1、適用于低壓小流量，多種氣體的單一或混合連續(xù)供氣。 |
2、尤其方便多種氣體切換使用，而不造成大氣進入加熱管。 3、每條氣體管路均有一個高壓截止閥，有效確保安全。 4、氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，實用、簡便。 5、流量顯示準確，可有效控制氣體的消耗量。 6、所有儀表及閥門均采用活接頭連接，便于維修和拆卸。 | |
技術參數(shù) | 1、氣路通道：三通道（可根據(jù)需要設計通道） 2、氣路流量控制器：浮子流量計 3、標準量程： 10ml/min-100ml/min ，16ml/min-160ml/min ，25ml/min-250ml/min 4、接口： ?6.35mm |
5、截止閥： ?6.35mm 6、不銹鋼管： 外徑 ?6mm×內(nèi)徑 ?4mm 7、混氣罐： ?80mm×140mm |
8、壓力真空表： -0.1MPa-0.15MPa ，0.01MPa/grid | |
9、工作環(huán)境： 5℃-45℃，高純氣體 |
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