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產(chǎn)品簡介： 橢偏在線監(jiān)測裝備針對 LCD、OLED等新型平板顯示量光學(xué)薄膜質(zhì)量控制需要，專門設(shè)計的在線薄膜測量系統(tǒng)?？蛇m用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件，自動實現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的全片快速掃描測量。橢偏在線監(jiān)測裝備廣泛應(yīng)用于工業(yè)中新型光電器件行業(yè)所涉及的 PI 配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機發(fā)光薄膜、有機/ 無機封裝薄膜大基片各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布的在線式全片快速掃描測量。
| 產(chǎn)品型號 | PMS 橢偏在線監(jiān)測裝備 | |||
| 主要特點 | 1、支持產(chǎn)線大基片自定義多點掃描測量并輸出報告
2、支持 193-2500nm 全波段分析測量
3、支持多橢偏方案，多組合集成
4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化 | |||
| 技術(shù)參數(shù) | 測頭規(guī)格 | 穆勒矩陣橢偏測 頭 | 光譜橢偏測頭 | 反射膜厚測頭 |
| 自動化程度 | 可變/固定角+ | 可變/固定角+ | 垂直角+ | |
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| mapping | mapping | mapping |
| 應(yīng)用定位 | 高階高精度型 | 高精度型 | 通用型 | |
| 單次測量時間 | 0.5-5s | 小于 1s | ||
| 分析光譜 | 380-1000m(支持擴展至 193-2500nm) | 380-1100nm | ||
| Mapping 行程 | 支持行程定制化 | |||
| 支持樣件尺寸 | 安需定制化 | |||
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