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產(chǎn)品簡介：全自動橢偏檢測機臺作為一種小型橢偏集成機臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。全自動橢偏檢測機臺廣泛應用于科學研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學常數(shù)以及一維、二維 納米光柵的結(jié)構(gòu)表征；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠，ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測量。
| 產(chǎn)品型號 | 全自動橢偏檢測機臺 | ||
| 主要特點 | 1、支持實驗室研究整體橢偏集成控制測量技術(shù)
2、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點掃描測量并輸出報告
3、支持多橢偏方案，多組合集成
4、支持測頭模塊以及樣件機臺定制化 | ||
| 技術(shù)參數(shù) | 自動化程度 | 可變/固定角 | |
| 應用定位 | 高階高精度型 | 高精度型 | |
| 單次測量時間 | 0.5-5s | ||
| 分析光譜 | 380-1000nm（支持擴展至 193-2500nm） | ||
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| Mapping 行程 | 支持 100x100mm 行程擴展 |
| 支持樣件尺寸 | 支持 200mm 樣件 |
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