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產(chǎn)品簡介： VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、 勻膠機(jī)、 顯影機(jī)、 甩膠機(jī)、 旋涂儀、 spin coater 主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝， 是一款上蓋可 以加熱的勻膠機(jī)、 顯影機(jī)，在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù) 蒸發(fā)到含量。 工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布， 有利于薄膜和顯影過程的順利進(jìn)行。 本機(jī)電機(jī)部分、 溫度控制部分、 注液部分分別使用獨立 電源進(jìn)行控制，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的 PLC 進(jìn)行控制，轉(zhuǎn)數(shù)在 100-2000RPM 范圍內(nèi)可調(diào)。 涂膜機(jī)在工作時設(shè)有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要進(jìn)行設(shè)置。 VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、顯影機(jī)、 spincoater 啟動快速、轉(zhuǎn) 數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 對于樣件的固定，采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡便。 此外，在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運 轉(zhuǎn)時的噪音。
| 產(chǎn)品型號 | VTC-200-4P 紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、 spin coater |
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地。 3、氣：不需要 |
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| 4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kgs 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
| 主要特點 | 1、 采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡便； 橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。 2、 該機(jī)上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。 3、 本機(jī)上蓋具有 4 組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。 4、電機(jī)部分、 溫度控制部分、 注液部分分別使用獨立電源的方式，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng) 則 采 用 了 抗 干 擾性高 的 PLC 進(jìn) 行 控 制， 數(shù) 值顯示 更 直 觀可 靠， 轉(zhuǎn) 數(shù) 在 100-2000RPM 內(nèi)可調(diào)。 5、涂膜機(jī)在工作時設(shè)有兩個階段，在啟動前根據(jù)實際需要， 可分別進(jìn)行時間 1、 轉(zhuǎn)速 1、時間 2、轉(zhuǎn)速 2 的設(shè)置。 設(shè)置完成啟動后，涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速 1 在時間 1 時間內(nèi)運轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。 當(dāng)時間 1 時間結(jié)束時，涂膜機(jī)自動進(jìn)入 時間 2 時間階段運轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)更加均勻。 |
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| 6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運轉(zhuǎn)時的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂 性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實耐用且質(zhì)輕。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 1、 電源： AC220/110V、 50/60Hz 2、 電機(jī)功率： 功率 210W 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:雙轉(zhuǎn)速及涂膜時間分別設(shè)置， 在啟動后先低速運轉(zhuǎn)(滴涂膠 液)，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。 轉(zhuǎn)數(shù) 1： 100-2000 RPM 有效 時間 1： 1--200s 有效 轉(zhuǎn)數(shù) 2： 100-2000 RPM 有效 時間 2： 1--200s 有效 4、 適用于 Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍： 0-100℃。 6、環(huán)境溫度 5-40℃，相對濕度不大于 85%RH,設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體影 響。 |
| 規(guī)格尺寸 | 主機(jī)外形尺寸 500mm （長） ×410mm （寬） ×330mm （高）， 重量 24Kg。 |
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 磁性鋼片模板（Ф160mm） | 1 件 |
| 2 | 吸盤(Ф153mm) | 1 件 | |
| 3 | 溫控箱 | 1 臺 | |
| 4 | 蠕動泵 | 6 臺 | |
| 可選配件 | 橡膠吸盤 | ||
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