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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀2
  • GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀2
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更新時間:2025-01-03 21:00:07

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產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜

產(chǎn)品簡介:

        GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm ,鍍膜厚度可達300Å,特別適用于SEM 樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn) 象;陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小,操作簡單,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。

產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水:不需要

2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:設備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)

4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上

5、通風裝置:不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得的鍍膜效果。

   3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

   4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

   5、根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

  

技術參數(shù)

   1、電源: 220V

    2、總功率: <2000W  (包括真空泵)

    3、真空室: Ø160mm×120mm

    4 、樣品臺: Ø50mm,且高度可調(diào), 可同時進行 8  SEM 樣品的鍍膜

    5 、max 均勻鍍膜: Ø45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 400mm×300mm×400mm;重量: 30kg

標準配件

1

金靶材

1 

2

進氣針閥

1 

3

保險絲

2 

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材

 

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