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PCE-6V小型等離子清洗機(jī)2
  • PCE-6V小型等離子清洗機(jī)2
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更新時(shí)間:2025-01-03 21:00:07

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

     PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了 RF 等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

 

產(chǎn)品型號(hào)

PCE-6V 小型等離子清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

 1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。

   2 、可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物。

   3  、清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。

   4 、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

   5、清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消 毒和殺菌。

   6 、樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。

   7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、 微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

、電壓: AC220V    10A

 2、消耗功率: <500W  (包括真空泵)

 3 、RF 電源: 輸出功率 100W ,輸出頻率 13.56MHz

   4、腔體: Ø190mm×98mm

   5、石英管: Ø180mm×55mm ,壁厚 7mm

   6、內(nèi)腔: Ø165mm×55mm

   7、清洗電極: Ø120mm

   8、樣品臺(tái): Ø150mm ,有效尺寸 Ø140mm

   9、樣品臺(tái)與電極間距: 15mm-50mm 可調(diào)

   10、抽氣管: Ø12mm

   11、極限真空度: 0.1Pa

   12、工作真空度: 60Pa-500Pa

   13、氣路數(shù)量: 2 路(選裝)

   14、流量控制器數(shù)量: 1 、2

   15、流量顯示儀: 2 通道

   16、氣路接口: Ø6mm

   17、加熱樣品臺(tái): Ø140mm ,加熱樣品溫度 RT-600℃±1℃(選裝)

   18、冷卻水壓力: 0.2KPa-0.4KPa

    19、工作環(huán)境: 溫度 5-35℃,濕度<80%  (相對(duì)濕度)不結(jié)露, 海拔高度 0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 245mm×235mm×460mm  (不含真空泵),重量: 20kg  (不含真空泵)

可選配置

1、加熱樣品臺(tái)

2、流量控制器(量程 10 、50 、100 ,最多可增加 2 個(gè)通道)

 

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