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產(chǎn)品簡介： 1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV 是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系 統(tǒng)和高真空機組組成，工作溫度可達 1600℃ ，混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導(dǎo)入管 式爐內(nèi)部， 本系統(tǒng)極限真空度可達 10-5 torr。
產(chǎn)品型號 | 1700℃兩通道混氣高真空 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-4-C2HV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺： 尺寸 1600mm（L）*600mm(W)*700mm(H),承重 150kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
主要特點 | 1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。 2、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。 3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。 4 、采用 PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序。 |
5 、已通過 CE 認證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1 、電源： 單相 AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW 2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管， 外徑 ?100mm ，內(nèi)徑 ?92mm ，長 1000mm 3、加熱元件： 1800℃硅鉬棒 8 根 4、加熱區(qū)域： 457mm 5、恒溫區(qū)域： 150mm 6 、工作溫度： 1650℃ ，連續(xù)工作 1600℃ 7、升溫速率：≤5℃/min 8、控溫精度：± 1℃ 9、熱電偶： B 型 10、不銹鋼真空法蘭： 1 對 11、機械壓力表： 1 個 |
12、針閥： 2 個 13、連接器： KF-25 ，1 個 14、抽氣接口： KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 15、卡套接頭： 1/4″ | |
高真空機組 1、電源： 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W 2、真空泵： 德國 Pfeiffer 真空泵 3、顯示屏： LCD 數(shù)字顯示 4、抽氣速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s 5、工作范圍： 1000mtorr-10-7mtorr 6、極限： 10-8mtorr （無泄漏） |
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) | |
1、電源： 單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W | |
2、功率： 18W | |
3、混氣箱： ?80mm×120mm | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，高真空機組 600mm×600mm×700mm，質(zhì)量流量混 氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm |
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