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帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
  • 帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV
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更新時間:2025-01-03 21:00:07

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產(chǎn)品簡介:帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調(diào)整三個溫區(qū)而建立不同梯度的熱場,可進行退火、擴散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實驗

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產(chǎn)品簡介: 帶滑動法蘭三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-5-III-F3LV 可以快速加熱至 1200℃,并通過調(diào)整三個 溫區(qū)而建立不同梯度的熱場,可進行退火、擴散、 在不同氣氛中燒結(jié)樣品及 CVD 等實驗。


產(chǎn)品型號

帶滑動法蘭三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-5-III-F3LV

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺: 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上


5、通風裝置:需要

主要特點

1、雙層殼體,配有冷系統(tǒng), 爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。


2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。


3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。


4 、采用三個獨立 PID 控制器 ,可以設置 30 段升降溫程序,設有過熱和斷偶保護功能。


5 、已通過 CE 認證。




技術(shù)參數(shù)

1 、電源: 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    7KW 40A 保險絲)


2、石英管: 外徑 ?125mm ,內(nèi)徑 120mm ,長 1400mm,帶有一對真空密封法蘭


3、加熱元件: 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲


4、加熱區(qū)域: 溫區(qū) I  229mm ,溫區(qū) II  457mm ,溫區(qū) III  229mm ,總長 915mm


5、恒溫區(qū)域: 三個溫區(qū)為同一溫度時為 625mm ,溫區(qū) II  110mm


6 、工作溫度:  1200 ,連續(xù)工作 1100


7、升降溫速率: 20/min


8、控溫精度:± 1


9、熱電偶: K 


10、浮子流量計: 3 個, 量程 0-100ml/min 0-160ml/min 、0-250ml/min

11、數(shù)字真空計: 10-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 管式爐 1080mm×430mm×600mm;重量: 70kg


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