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快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
  • 快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV
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更新時(shí)間:2025-01-03 21:00:07

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)3″)的退火而設(shè)計(jì),配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵


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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV 是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)

3″ )的退火而設(shè)計(jì), 配有 3 路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW 的紅外燈進(jìn)行加熱, 升溫速度可達(dá)

100/s ,配有 RS485 接口,可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。



產(chǎn)品型號(hào)

快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源


4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1 、雙層 Al2O3 纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。


2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。


3 、PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。


4 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源: 單相 208V-240V AC    50Hz/60Hz    9KW


2、石英管: 外徑 ?110mm ,內(nèi)徑 ?103mm ,長(zhǎng) 380mm


3、加熱元件:紅外燈管, 直徑 ?10mm ,長(zhǎng) 300mm


4、加熱區(qū): 300mm





5 、工作溫度: 溫度 1100


6 、控溫精度:±0.5


7、升溫速度: RT-800℃時(shí)為 50/s ,800-1000℃時(shí)為 10/s


8、溫控儀:可控硅( SCRPID 自動(dòng)控制


9 、真空法蘭: 不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫 O 型圈密封,長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下 運(yùn)行必須采用水冷, 循環(huán)水流量為 0.5m3/hr


10、真空度: 10-3torr


11、流量計(jì): 3 個(gè), 量程 40cc/min-400cc/min ,精度 4%FS

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 爐體 760mm×330mm×530mm ,真空混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm


重量: 爐體 45kg ,真空混氣系統(tǒng) 30kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)


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