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平場光譜儀，采用全息凹球面變線距光柵進(jìn)行分光，具有平場特性，便于使用面陣CCD記錄光譜。光柵工作在掠入射模式下，衍射效率高，同時通過選用不同的光柵型號，可以實現(xiàn)波長范圍0.6~200nm的全覆蓋。

平場光譜儀可應(yīng)用于強場與高密度物理、半導(dǎo)體與集成電路制造和探測器、光源計量級標(biāo)定。

主要參數(shù)：

● 光柵類型： 凹球?變線距光柵

● 波?范圍： 0.6~200nm(選配)

● 光譜分辨率： 0.015nm@13.5nm， 可根據(jù)需求優(yōu)化

● 探測器類型： 科研級相機(jī)

● 前置收光可選

● 具備遠(yuǎn)程激光快速瞄準(zhǔn)定位功能

● ?真空兼容，5×10-3 Pa

● 具有5μm~300μm在線連續(xù)可調(diào)狹縫

光柵參數(shù)：

選配范圍：

測試數(shù)據(jù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：