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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間:2024-10-22 15:58:51瀏覽次數(shù):37次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 化工儀器網(wǎng)v 應(yīng)用領(lǐng)域:無(wú)助焊劑焊接;倒裝芯片焊接;鍵合;Bump回流焊接;微電子封裝;功率器件焊接;晶圓熱處理;工藝研發(fā);質(zhì)量控制
v 加熱區(qū)域:4、6、8、12英寸
v 腔體高度:40mm (選配80mm)
v 視窗直徑:60mm
v 工藝氣體控制:MFC控制,5nlm流量
v 真空:10-3 hPa (高真空選配)
v 工藝溫度:400攝氏度(500攝氏度或650度選配)
v 升溫速度:>100 K/Min
v 降溫速度:>100 K/Min
v 選配項(xiàng)目:FA甲酸模塊;MFC工藝氣路;EH腔體增高;H2氫氣模塊;TC多通過(guò)測(cè)溫;VAC真空模塊;MP隔膜泵,MPC化學(xué)防腐隔膜泵;RVP旋葉真空泵;WC冷水機(jī)
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