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當(dāng)前位置：研啟科學(xué)儀器（東莞）有限公司>> Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-10-22 16:31:05瀏覽次數(shù)：143次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)Nikon EX14C
1.Nikon EX14C步進(jìn)式光刻機(jī)
光源波長248nm
分辨率優(yōu)于0.25µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生產(chǎn)線
廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域
2.產(chǎn)品詳情
主要技術(shù)指標(biāo)
分辨率0.25µm
N.A.0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
曝光現(xiàn)場22mm*22mm
對準(zhǔn)精度
LSA：55nm
FIA：65nm
3.更多服務(wù)
提供中英文軟件及2"、4"、6"、8"設(shè)備硅片改造
常年提供所有備件、耗材
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