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當前位置：研啟科學儀器（東莞）有限公司>> 探針式輪廓儀/臺階儀
| 參 考 價 | 面議 |
v 測量功能：二維表面輪廓測量 /可選三維測量
v 樣品視景：可選放大倍率，1 to 4mm FOV
v 探針壓力：使用LIS 3 傳感器 1至15mg
v 低作用力：使用N-Lite+低作用力傳感器: 0.03至15mg
v 探針曲率半徑可選范圍: 50nm至25 um
v 高徑比(HAR)針尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客戶要求定制針尖
v 樣品X/Y載物臺：
手動X-Y平移：100mm (4英寸）
機動X-Y平移：150mm (6 英寸)
v 樣品旋轉臺：手動，360° 旋轉 機動，360°旋轉
v 掃描長度范圍：55mm(2英寸)
v 每次掃描數(shù)據(jù)點：最多可達120.000數(shù)據(jù)點
v 樣品厚度：50mm(2英寸)
v 晶圓尺寸：200mm(8英寸)
v 臺階高度重現(xiàn)性：<4A，1sigma在1um臺階上
v 垂直范圍：1mm(0.039英寸)
v 垂直分辨率：1A (6.55um垂直范圍下)
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