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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> 光學輪廓儀
參 考 價 | 面議 |
v 測量模式:PSl, USl, VSl, 選配的 Film
v 掃描量程:≤10 mm
v 橫向分辨率:
0.38 um minimum (Sparrow criterion)
0.13 um (with AcuityXR)
v 垂直分辨率:<0.01 nm
v 臺階高度重復性:<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability
v 掃描速度:122 um/sec (with laser reference)
v 樣品反射率范圍:0.05% to 99%
v 樣品尺寸:350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ;249 mm H 自動樣品臺
v 樣品重量:45 kg (77 kg without standard stage)
v XY 品臺:300 mm 自動樣品臺
v Z 軸聚焦:249(350 mm 不帶自動臺)
v 光源:雙LED光源
v 物鏡:
Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X
LWD: 1X, 2X, 5X,10X
TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X
Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret
v 放大器:0.55X,0.75X,1X,1.5X, 2X auto-sensing modules
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