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當前位置：研啟科學儀器（東莞）有限公司>> 光學輪廓儀
| 參 考 價 | 面議 |
v 測量模式：PSl, USl, VSl, 選配的 Film
v 掃描量程：≤10 mm
v 橫向分辨率：
0.38 um minimum (Sparrow criterion)
0.13 um (with AcuityXR)
v 垂直分辨率：<0.01 nm
v 臺階高度重復性：<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability
v 掃描速度：122 um/sec (with laser reference)
v 樣品反射率范圍：0.05% to 99%
v 樣品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ；249 mm H 自動樣品臺
v 樣品重量：45 kg (77 kg without standard stage)
v XY 品臺：300 mm 自動樣品臺
v Z 軸聚焦：249(350 mm 不帶自動臺)
v 光源：雙LED光源
v 物鏡：
Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X
LWD: 1X, 2X, 5X，10X
TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X
Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret
v 放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules
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