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當前位置:研啟科學儀器(東莞)有限公司>> 電子束蒸發(fā)鍍膜機E-Beam
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間:2024-10-22 16:48:24瀏覽次數(shù):66次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)v 產(chǎn)品概述:系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室、主抽過渡管路、旋轉(zhuǎn)基片架、光加熱系統(tǒng)、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安裝機臺等部分組成
v 設備用途:本系統(tǒng)配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質(zhì)膜基片上均勻沉積多層膜的需要
v 真空室尺寸:定制
v 極限真空度:≤6.0E-5Pa
v 沉積源:6個40cc坩堝
v 溫度:300℃
v 電控描述:全自動
v 工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤±3%
v 特色參數(shù):樣品尺寸及數(shù)量可定制,工件架有拱形基片架和行星形基片架
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