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MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC300 產(chǎn)品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數(shù)字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過數(shù)字通訊改變控制流量或通訊 設(shè)置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測量，高精 度，高穩(wěn)定性，極低零漂特性。

• 介質(zhì)要求

  潔凈干燥無腐蝕性氣體
• 氣體種類

  Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
• 測量和控制范圍

  0.2%-100%F.S. （1:500）
• 準確度

  ±0.5%F.S.
• 重復精度

  ±0.5%F.S.
• 線性度

  ±0.2%F.S.
• 分辨率

  0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
• 傳感器響應時間

  5ms
• 控制響應時間

  300ms
• 預熱時間

  ≤1s
• 閥門

  常閉式