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貨物所在地：江蘇蘇州市
所在地： 蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號 半導(dǎo)
更新時(shí)間：2025-03-26 11:04:56
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氮?dú)鈿怏w流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng)：5ms 測量響應(yīng)，300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預(yù)熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms
控制響應(yīng)時(shí)間 300ms
預(yù)熱時(shí)間 ≤1s
閥門 常閉式
機(jī)械特性
最大工作壓力 1.1 MPa（11bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 0-65℃（環(huán)境和氣體）
濕度范圍 0 - 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質(zhì) 氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
密封材質(zhì) 氟橡膠 FKM
防護(hù)等級 IP40
安裝方式 任意方向安裝
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.38kg
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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