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參考價(jià): | ¥ 9800 |
訂貨量: | 1件 |
- CS-1000 產(chǎn)品型號(hào)
- HORIBA/堀場(chǎng) 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù):98更新時(shí)間:2025-02-12 13:50:08
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),綜合 |
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HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選
HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選
HOBIBA堀場(chǎng)化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)玉崎科學(xué)精選
化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
CS-1000 型
能夠?qū)?BEOL 工藝中使用的含有微量元素的多組分化學(xué)溶液進(jìn)行濃度管理*1.
ppm 級(jí)的低濃度組分*2在化學(xué)溶液中,無(wú)需任何預(yù)處理即可檢測(cè)到。只需在制造現(xiàn)場(chǎng)安裝整合在一個(gè)獨(dú)立機(jī)柜中的一體化系統(tǒng)即可開(kāi)始使用*3.
*1 “back end of line"的縮寫(xiě),指的是半導(dǎo)體前端工藝中的布線形成過(guò)程。
*2 ppm = 百萬(wàn)分之一。對(duì)于液體成分,1 ppm 表示 1 升液體中存在 1 毫克的成分。
*3 SEMI S2 認(rèn)證。
檢測(cè) PPM 級(jí)的低濃度組分
通過(guò)提高光譜儀的性能(擴(kuò)大的波長(zhǎng)范圍和更高的分辨率)并結(jié)合來(lái)自 pH 計(jì)和電導(dǎo)率計(jì)的信號(hào),現(xiàn)在可以檢測(cè) ppm 級(jí)的低濃度成分。
同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同的化學(xué)溶液
該裝置配備了兩條獨(dú)立的樣品流線。通過(guò)隔離流路,它可以同時(shí)測(cè)量?jī)煞N不同的化學(xué)溶液。
每六個(gè)月 4 小時(shí)的維護(hù)
配備具有自動(dòng)校準(zhǔn)功能的 pH 計(jì)。維護(hù)僅包括更換燈以及 pH 計(jì)的內(nèi)部溶液和校準(zhǔn)溶液瓶。
產(chǎn)品名稱 | 化學(xué)溶液監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
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型 | CS-1000 型 |
測(cè)量項(xiàng)目 | 化學(xué)濃度、電導(dǎo)率、pH 值 |
測(cè)量原理 | 吸收光譜法、2 電極法、玻璃電極 |
目標(biāo)化學(xué)品 | 半導(dǎo)體制造工藝中使用的多組分化學(xué)溶液(詳情請(qǐng)聯(lián)系我們) |
尺寸 | 700 (W) × 610 (D) × 1640 (H) mm(不包括突出部分) |
重量 | 約 200 公斤 |
接液材料 | 柜式(PFA、PTFE) 吸光度監(jiān)測(cè)儀(PFA、PTFE、石英、Kalrez™) 電導(dǎo)率計(jì)(PFA、碳、Kalrez™) pH 計(jì) - 排水管使用(PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烴樹(shù)脂、THV、PFA、Kalrez™、PharMed BPT) ※Karlez™ 是 DuPont de Nemours, Inc. 的商標(biāo)。 |
符合標(biāo)準(zhǔn) | CE , KC , FCC 規(guī)則 Part15 , UKCA , SEMI S2 |