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EBARA荏原 高負荷工程的干式真空泵

EBARA荏原 高負荷工程的干式真空泵

1. EV-X型作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計，并進一步實現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。

通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴展。特定以大幅的溫度控制實現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋；低能耗、占地??；可耐受腐蝕性氣體（采用標準耐腐蝕材料）；適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長等。

2.EEV-S 型為獨立安裝的羅茨型干泵，有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附

加功能的同時，實現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 "。

特 點

低能耗占地小輕量化方面達到業(yè)內(nèi)水平;耐腐蝕材料、氦氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,通過增強的傳感功能減少停機時間，

3.EV-M型可應(yīng)用于在半導體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求，實現(xiàn)了停機風險的減少和運行成本的降低。

特 點產(chǎn)品系列豐富，可應(yīng)對多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負荷與低功耗;可應(yīng)對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕材料)

4.EST型采用螺桿型轉(zhuǎn)子,可應(yīng)對CVD等工藝副產(chǎn)物的生成,并具備大流量抽氣、耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功能。

特 點

可滿足副產(chǎn)物生成的工藝(泵內(nèi)氣體可保持高溫);抽氣速率高、流量大;搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能(自適應(yīng)氣體流量大小);

可應(yīng)對腐蝕性氣體(標配耐腐蝕性材料);

搭載高性能通信功能優(yōu)良的控制管理方式(數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份)

5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現(xiàn)出色。具備流量自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)整、通信功能等額外功能。

特 點適用于大型真空腔室的高速抽氣場景，搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能(自適應(yīng)泵的負荷);可滿足有機溶劑要求的可選配件;搭載高性能通信功能;優(yōu)良的控制管理方式

(數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份)

6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風冷干式真空泵。以節(jié)能低噪為特點，適合各種分析機器、電子顯微鏡等清潔抽氣用途。

特 點小型風冷泵;低噪音、低功耗;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認證。

7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風冷干式真空泵。在接近大氣壓環(huán)境下的抽氣速率優(yōu)異，是反復進行空氣抽吸用途的選擇。

特 點般真空抽氣用的小型風冷泵;適用于大氣壓抽氣，抽氣峰值速率1000L/min;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認證,

8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、輕量、節(jié)能為特點的清潔用途風冷干式真空泵。這款新一代干式真空泵有著即插即用的便攜性，并且采用了非接觸式密封設(shè)計以延長使用壽命。

特 點小型、輕量;風冷式、無需潤滑油、即插即用;非接觸式密封設(shè)計，無需更換封層、延長使用壽命。