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全新EBARA荏原 干式真空泵配備高溫功能

全新EBARA荏原 干式真空泵配備高溫功能

FPD行業(yè)應(yīng)用

平板顯示器（Flat Panel Display，F(xiàn)PD）面板的生產(chǎn)制造過程非常繁復(fù)，從一塊玻璃基板到出廠成品至少需要 300 道流程工藝，全程需在無塵的環(huán)境、精密的技術(shù)工藝下進(jìn)行。

所以，高度可靠的真空供應(yīng)在面板生產(chǎn)過程中尤為重要。平板顯示器（FPD）制造制程需要能夠支持巨大加工室，并在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減排設(shè)備。需要使用真空系統(tǒng)來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體，并處理制造制程艙中形成的大量固態(tài)制程副產(chǎn)物。

GV行業(yè)應(yīng)用

GV泛指一般真空領(lǐng)域，類似化工、醫(yī)療、食品、科研等領(lǐng)域均有對真空的需求。

工業(yè)產(chǎn)品、化學(xué)、醫(yī)療、生物等基礎(chǔ)科學(xué)領(lǐng)域都會使用到分析裝置。

而要達(dá)到高敏感度與高精度的分析，真空環(huán)境則是的一環(huán)。

荏原的干式真空泵不僅可以提供清潔的真空環(huán)境，潔凈的排氣結(jié)構(gòu)、小巧方便又低噪音的設(shè)計(jì)也便于使用在研究室及實(shí)驗(yàn)室的分析設(shè)備中。

應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體制造行業(yè)、SEMI半導(dǎo)體、PV 光伏、LED行業(yè)、Medical醫(yī)療制藥、LIB 鋰電池、FPD 平板顯示、AUTO 汽車。

工業(yè)產(chǎn)品、化學(xué)、醫(yī)療、生物等基礎(chǔ)科學(xué)領(lǐng)域。

1 半導(dǎo)體技術(shù)已廣泛應(yīng)用于電腦、智能手機(jī)、家電、汽車、醫(yī)療設(shè)備等日常生活中的多種設(shè)備中。

干式真空泵在半導(dǎo)體的制作流程中的應(yīng)用包括蝕刻和CVD、清洗、灰化、沉積、離子注入、外延生長、平坦化處理等。

2 太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)，是一種利用太陽電池半導(dǎo)體材料的光伏效應(yīng)，將太陽光輻射能轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿囊环N發(fā)電系統(tǒng)。近年來，光伏行業(yè)得到了迅猛發(fā)展。真空技術(shù)在光伏行業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用，真空泵也是光伏產(chǎn)品制造過程中的設(shè)備。

應(yīng)用環(huán)節(jié)

?硅片生產(chǎn)?：在硅片生產(chǎn)過程中，干式真空泵提供高精度的真空環(huán)境，確保硅晶體的拉制質(zhì)量?。

?電池片制造?：在電池片的制造過程中，干式真空泵用于真空封裝，確保電池片中的材料質(zhì)量和性能?。

?電池組件封裝?：在電池組件的封裝過程中，干式真空泵提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保組件的質(zhì)量和性能?。

3 LED行業(yè)應(yīng)用

有效應(yīng)用于LED制造的各類制程中

隨著顯示器從 LCD 到 LED 到 OLED 過渡，更精確的測量和精密的控制是必需的要求。 正是基于這個原因，顯示器制造業(yè)不斷投資于新的技術(shù)和功能。

EST10N 干式（無油）真空泵設(shè)計(jì)為獨(dú)立螺桿泵，由 NiResist 制成，這是一種以其優(yōu)異的耐腐蝕性而聞名的固體鑄造材料，惡劣、粉狀和腐蝕性應(yīng)用。

專為產(chǎn)生反應(yīng)性化學(xué)副產(chǎn)品的惡劣應(yīng)用而設(shè)計(jì)，并制造成為當(dāng)今市場上擁有成本的泵。

抽速（60 Hz）： 1,000 l/min

EV-X型作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計(jì)，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。

通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時間，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴(kuò)展。特定以大幅的溫度控制實(shí)現(xiàn)大范圍的工藝覆蓋；低能耗、占地??；可耐受腐蝕性氣體（采用標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕材料）；適用案例：各種蝕刻以及CVD、灰化、離子注入、外延生長等。

2.EEV-S 型為獨(dú)立安裝的羅茨型干泵，有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應(yīng)用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附

加功能的同時，實(shí)現(xiàn)了“ 低能耗、占地小、輕量化 "。

特 點(diǎn)

低能耗占地小輕量化方面達(dá)到業(yè)內(nèi)水平;耐腐蝕材料、氦氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致,通過增強(qiáng)的傳感功能減少停機(jī)時間，

3.EV-M型可應(yīng)用于在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造工藝中有副產(chǎn)物生成的重制程工藝。同時兼顧了對重制程工藝和節(jié)能的需求，實(shí)現(xiàn)了停機(jī)風(fēng)險的減少和運(yùn)行成本的降低。

特 點(diǎn)產(chǎn)品系列豐富，可應(yīng)對多種工藝、抽氣速率需求;兼顧高負(fù)荷與低功耗;可應(yīng)對腐蝕性氣體(標(biāo)配耐腐蝕材料)

4.EST型采用螺桿型轉(zhuǎn)子,可應(yīng)對CVD等工藝副產(chǎn)物的生成,并具備大流量抽氣、耐腐蝕性、抽氣速率可變、通信功能等額外功能。

特 點(diǎn)

可滿足副產(chǎn)物生成的工藝(泵內(nèi)氣體可保持高溫);抽氣速率高、流量大;搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能(自適應(yīng)氣體流量大小);

可應(yīng)對腐蝕性氣體(標(biāo)配耐腐蝕性材料);

搭載高性能通信功能優(yōu)良的控制管理方式(數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份)

5.ESA型:干式真空泵

ESA型在LCD濺鍍、真空干燥、大型load-lock等需要高速抽氣的場景表現(xiàn)出色。具備流量自適應(yīng)轉(zhuǎn)速調(diào)整、通信功能等額外功能。

特 點(diǎn)適用于大型真空腔室的高速抽氣場景，搭載轉(zhuǎn)速自動控制功能(自適應(yīng)泵的負(fù)荷);可滿足有機(jī)溶劑要求的可選配件;搭載高性能通信功能;優(yōu)良的控制管理方式

(數(shù)據(jù)保存功能、警報履歷備份)

6.EV-SA型干式真空泵

EV-SA 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風(fēng)冷干式真空泵。以節(jié)能低噪為特點(diǎn)，適合各種分析機(jī)器、電子顯微鏡等清潔抽氣用途。

特 點(diǎn)小型風(fēng)冷泵;低噪音、低功耗;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認(rèn)證。

7.EV-A10型干式真空泵

EV-A10 型是無需冷卻水、安裝方便的小型風(fēng)冷干式真空泵。在接近大氣壓環(huán)境下的抽氣速率優(yōu)異，是反復(fù)進(jìn)行空氣抽吸用途的選擇。

特 點(diǎn)般真空抽氣用的小型風(fēng)冷泵;適用于大氣壓抽氣，抽氣峰值速率1000L/min;電源即插即用，安裝靈活;通過CE、NRTL海外認(rèn)證,

8.

EV-PA型干式真空泵是以小型、輕量、節(jié)能為特點(diǎn)的清潔用途風(fēng)冷干式真空泵。這款新一代干式真空泵有著即插即用的便攜性，并且采用了非接觸式密封設(shè)計(jì)以延長使用壽命。

特 點(diǎn)小型、輕量;風(fēng)冷式、無需潤滑油、即插即用;非接觸式密封設(shè)計(jì)，無需更換封層、延長使用壽命。