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ESA70W半導體大型真空腔室真空泵 EBARA荏原
| 參考價: | ￥ 23741 |
| 訂貨量: | 1臺 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- ESA70W 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：71更新時間：2025-03-26 14:59:07
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 看型號 |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 看說明l/s | 電壓 | 100V |
| 功率 | 0.4kW | 極限壓力 | 看參數(shù)pa |
| 流量 | 0.2m3/h | 排出口徑 | 1mm |
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 230X450X274 |
| 揚程 | 1m | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 | 重量 | 60kg |
| 最大工作壓強 | 0.55 |
?半導體工業(yè)?：在半導體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導體器件的關鍵設備。由于半導體工藝需要在高真空環(huán)境下進行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導體產(chǎn)品的質量和生產(chǎn)效率?。
產(chǎn)品介紹
半導體大型真空腔室真空泵 EBARA荏原
半導體大型真空腔室真空泵 EBARA荏原
應用環(huán)節(jié)
?硅片生產(chǎn)?：在硅片生產(chǎn)過程中，干式真空泵提供高精度的真空環(huán)境，確保硅晶體的拉制質量?。
?電池片制造?：在電池片的制造過程中，干式真空泵用于真空封裝，確保電池片中的材料質量和性能?。
?電池組件封裝?：在電池組件的封裝過程中，干式真空泵提供穩(wěn)定的真空環(huán)境，確保組件的質量和性能?。
應用行業(yè)
包括半導體制造、真空冶金、食品工業(yè)、科學研究院、航空航天、醫(yī)療設備、光學儀器等。
LED行業(yè)應用
有效應用于LED制造的各類制程中
隨著顯示器從 LCD 到 LED 到 OLED 過渡，更精確的測量和精密的控制是必需的要求。 正是基于這個原因，顯示器制造業(yè)不斷投資于新的技術和功能。
?半導體工業(yè)?：在半導體制造中，渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導體器件的關鍵設備。由于半導體工藝需要在高真空環(huán)境下進行，渦輪分子泵通過高效抽氣，確保工藝過程中的高真空度，從而保障半導體產(chǎn)品的質量和生產(chǎn)效率?。
干式真空泵是一種無需液體密封或潤滑的真空設備，其工作原理基于機械運動改變工作腔容積以實現(xiàn)氣體抽吸和壓縮。以下是對其工作原理的詳細解析：
?核心原理?
干式真空泵通過機械部件的運動，周期性地改變密閉腔體的容積，形成吸氣、壓縮和排氣過程。由于無液體參與密封，其設計依賴于精密配合的間隙和特殊材料，確保高效密封和耐磨性。
?主要類型及工作方式?
?爪式泵（Claw Pump）?
?吸氣階段?：轉子分離時，腔體容積增大，吸入氣體。
?壓縮階段?：轉子閉合，氣體被壓縮并推向排氣口。
?排氣階段?：壓縮氣體通過排氣閥排出。
?結構?：兩個爪形轉子在泵腔內反向旋轉。
?工作流程?：
?特點?：非接觸式設計，轉子間隙小，耐粉塵。
?螺桿式泵（Screw Pump）?
?結構?：兩根平行螺桿（通常為單頭或雙頭螺紋）相互嚙合。
?工作流程?：螺桿旋轉時，氣體沿軸向被封閉在螺桿齒槽內，從吸氣端推送至排氣端，通過容積縮小實現(xiàn)壓縮。
?特點?：連續(xù)排氣，振動小，適合中高真空。
?羅茨泵（Roots Pump）?
?結構?：兩個“8"字形葉輪嚙合旋轉。
?工作流程?：葉輪高速反向旋轉，將氣體從進氣口推向排氣口，依賴多級串聯(lián)提高壓縮比。
?特點?：無內壓縮，需前級泵配合；大抽速，適合粗真空。
?渦旋泵（Scroll Pump）?
?結構?：由動渦盤和靜渦盤組成，動盤繞靜盤中心作偏心運動。
?工作流程?：氣體在渦旋槽內被分隔成多個密閉腔，隨著動盤運動，腔體向中心移動并逐漸縮小，氣體被壓縮排出。
?特點?：結構緊湊，低噪音，適合潔凈環(huán)境。
?往復式活塞泵（Piston Pump）?
?結構?：活塞在氣缸內往復運動，配以閥門控制氣流。
?工作流程?：活塞后移時吸氣，前移時壓縮氣體并排出。
?特點?：可達到較高真空度，但振動較大。
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