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ESA80W-HDF日本EBARA荏原 用于需要大容量輕氣體抽吸泵
參考價: 40126
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • ESA80W-HDF 產(chǎn)品型號
  • EBARA/荏原 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 深圳市 所在地

訪問次數(shù):50更新時間:2025-03-26 15:31:55

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產(chǎn)品簡介
泵軸位置 其他 抽氣量 看型號
抽氣速率 看說明l/s 電壓 100V
功率 0.4kW 極限壓力 看參數(shù)pa
流量 0.2m3/h 排出口徑 1mm
輸送介質(zhì) 其他 外形尺寸 230X450X274
揚(yáng)程 1m 葉輪數(shù)目 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 重量 60kg
最大工作壓強(qiáng) 0.55
日本EBARA荏原 用于需要大容量輕氣體抽吸泵
?半導(dǎo)體工業(yè)?:在半導(dǎo)體制造中,渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行,渦輪分子泵通過高效抽氣,確保工藝過程中的高真空度,從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。
產(chǎn)品介紹

日本EBARA荏原 用于需要大容量輕氣體抽吸泵

日本EBARA荏原 用于需要大容量輕氣體抽吸泵

核心原理?

干式真空泵通過機(jī)械部件的運(yùn)動,周期性地改變密閉腔體的容積,形成吸氣、壓縮和排氣過程。由于無液體參與密封,其設(shè)計依賴于精密配合的間隙和特殊材料,確保高效密封和耐磨性。


?主要類型及工作方式?

  1. ?爪式泵(Claw Pump)?

    • ?吸氣階段?:轉(zhuǎn)子分離時,腔體容積增大,吸入氣體。

    • ?壓縮階段?:轉(zhuǎn)子閉合,氣體被壓縮并推向排氣口。

    • ?排氣階段?:壓縮氣體通過排氣閥排出。

    • ?結(jié)構(gòu)?:兩個爪形轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)反向旋轉(zhuǎn)。

    • ?工作流程?:

    • ?特點(diǎn)?:非接觸式設(shè)計,轉(zhuǎn)子間隙小,耐粉塵。

  2. ?螺桿式泵(Screw Pump)?

    • ?結(jié)構(gòu)?:兩根平行螺桿(通常為單頭或雙頭螺紋)相互嚙合。

    • ?工作流程?:螺桿旋轉(zhuǎn)時,氣體沿軸向被封閉在螺桿齒槽內(nèi),從吸氣端推送至排氣端,通過容積縮小實(shí)現(xiàn)壓縮。

    • ?特點(diǎn)?:連續(xù)排氣,振動小,適合中高真空。

  3. ?羅茨泵(Roots Pump)?

    • ?結(jié)構(gòu)?:兩個“8"字形葉輪嚙合旋轉(zhuǎn)。

    • ?工作流程?:葉輪高速反向旋轉(zhuǎn),將氣體從進(jìn)氣口推向排氣口,依賴多級串聯(lián)提高壓縮比。

    • ?特點(diǎn)?:無內(nèi)壓縮,需前級泵配合;大抽速,適合粗真空。

  4. ?渦旋泵(Scroll Pump)?

    • ?結(jié)構(gòu)?:由動渦盤和靜渦盤組成,動盤繞靜盤中心作偏心運(yùn)動。

    • ?工作流程?:氣體在渦旋槽內(nèi)被分隔成多個密閉腔,隨著動盤運(yùn)動,腔體向中心移動并逐漸縮小,氣體被壓縮排出。

    • ?特點(diǎn)?:結(jié)構(gòu)緊湊,低噪音,適合潔凈環(huán)境。

  5. ?往復(fù)式活塞泵(Piston Pump)?

    • ?結(jié)構(gòu)?:活塞在氣缸內(nèi)往復(fù)運(yùn)動,配以閥門控制氣流。

    • ?工作流程?:活塞后移時吸氣,前移時壓縮氣體并排出。

    • ?特點(diǎn)?:可達(dá)到較高真空度,但振動較大。

    • ?半導(dǎo)體工業(yè)?:在半導(dǎo)體制造中,渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。由于半導(dǎo)體工藝需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行,渦輪分子泵通過高效抽氣,確保工藝過程中的高真空度,從而保障半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率?。

    • ?光學(xué)工業(yè)?:在光學(xué)工業(yè)中,渦輪分子泵用于真空鍍膜、真空燒結(jié)、真空蒸發(fā)等工藝。其高真空度、低噪音、低震動的特點(diǎn),使得光學(xué)鍍膜等工藝得以高質(zhì)量完成?。

    • ?醫(yī)藥工業(yè)?:在醫(yī)藥工業(yè)中,渦輪分子泵主要應(yīng)用于真空干燥、真空蒸餾、真空濃縮等工藝。通過維持高真空度,有效避免藥品的氧化和變質(zhì),確保藥品的質(zhì)量和安全性?。

    • ?食品工業(yè)?:在食品工業(yè)中,渦輪分子泵用于真空包裝、真空蒸煮等工藝。它能夠快速抽取食品包裝內(nèi)的氧氣,延長食品的保質(zhì)期,同時保持食品的原有口感?。

    • ?化工工業(yè)?:在化工工業(yè)中,渦輪分子泵廣泛應(yīng)用于真空蒸餾、真空干燥、真空濃縮等關(guān)鍵工藝。高真空度的維持對于避免化工產(chǎn)品的氧化和變質(zhì)至關(guān)重要,渦輪分子泵的高效性能為化工生產(chǎn)提供了有力保障?。

    • ?高能物理研究?:在高能物理研究中,渦輪分子泵用于加速器質(zhì)譜系統(tǒng)等設(shè)備中,創(chuàng)造高真空環(huán)境,以確保粒子加速和檢測的準(zhǔn)確性?。

    • ?其他領(lǐng)域?:渦輪分子泵還廣泛應(yīng)用于鍍膜、電子、太陽能、真空爐、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位。






































































































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