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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
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?半導(dǎo)體制造?
提供超微細(xì)化技術(shù)設(shè)備,支持下一代半導(dǎo)體的高集成化與低成本制造需求;
LR系列多級羅茨型干泵專門用于縮短半導(dǎo)體工藝中的排氣時間,提升產(chǎn)能;
配套真空部件(如R-7真空泵油)保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行8。
?平板顯示(FPD)與光伏(PV)制造?
開發(fā)濺射設(shè)備用
ULVAC(愛發(fā)科)作為以真空技術(shù)為核心的綜合企業(yè)集團(tuán),其產(chǎn)品和技術(shù)廣泛應(yīng)用于多個工業(yè)領(lǐng)域。以下是主要應(yīng)用場景及對應(yīng)產(chǎn)品:
?半導(dǎo)體制造?
提供超微細(xì)化技術(shù)設(shè)備,支持下一代半導(dǎo)體的高集成化與低成本制造需求;
LR系列多級羅茨型干泵專門用于縮短半導(dǎo)體工藝中的排氣時間,提升產(chǎn)能;
配套真空部件(如R-7真空泵油)保障設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行8。
?平板顯示(FPD)與光伏(PV)制造?
開發(fā)濺射設(shè)備用于顯示器鍍膜工藝,覆蓋金屬、氧化物等材料的精密沉積;
適配FPD/PV生產(chǎn)線的高真空泵(如VDN系列油旋片泵),滿足低噪音、高效率的抽氣需求。
?電子設(shè)備制造?
推出支持高集成化電子產(chǎn)品的制造設(shè)備,涉及精密加工和材料處理技術(shù);
真空計(如ST200/SH200系列)用于惡劣環(huán)境下高精度真空測量,確保工藝穩(wěn)定性。
?通用工業(yè)領(lǐng)域?
真空泵(如VDN301/401)應(yīng)用于鍍膜、干燥、抽氣等場景,適配機(jī)械、汽車、化工等行業(yè);
提供真空系統(tǒng)解決方案,涵蓋能源、環(huán)保、生物工程等跨領(lǐng)域需求。