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國產(chǎn)儀器鍛造“芯”脈向上生長

閱讀：527 發(fā)布時間：2025-4-17

某晶圓廠內(nèi)，一臺進(jìn)口痕量氣體分析儀因故障停機(jī)，供應(yīng)商回復(fù)配件到貨周期需三個月，整條產(chǎn)線被迫降速，產(chǎn)量受到嚴(yán)重影響。

隨著中美加稅持續(xù)升級，全球供應(yīng)鏈波動不斷，長期依賴進(jìn)口儀器的局限性正在加速顯現(xiàn)——價格高昂、周期冗長、售后滯后，已成為中國半導(dǎo)體制造鏈條上不能承受之重。

推進(jìn)核心檢測裝備的國產(chǎn)替代，不再是技術(shù)理想，而是應(yīng)對全球博弈下的現(xiàn)實(shí)必答題。

就在4月11日，中國物流與采購聯(lián)合會公共采購分會發(fā)布倡議，號召鍛造“自主鏈核"，優(yōu)先采購國產(chǎn)設(shè)備，將產(chǎn)業(yè)鏈的“斷點(diǎn)"轉(zhuǎn)化為自主可控的“核心支點(diǎn)"（點(diǎn)擊閱讀原文）。

中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會同日發(fā)布《關(guān)于半導(dǎo)體產(chǎn)品“原產(chǎn)地"認(rèn)證規(guī)則的緊急通知》，明確“晶圓流片地即原產(chǎn)地"的認(rèn)定原則，強(qiáng)化制造主權(quán)，也直指科學(xué)儀器必須自主掌控的核心痛點(diǎn)（）。

政策引導(dǎo)與產(chǎn)業(yè)倒逼正加速共振。國產(chǎn)檢測裝備正在迎來關(guān)鍵窗口期，國產(chǎn)替代步入“從可用到主用"的深水區(qū)。

在變局中突圍

自主可控步履堅定

變局當(dāng)前，退無可退。倒逼突圍，箭在弦上。

聚光科技，正是這場“從可用到主用"的國產(chǎn)攻堅戰(zhàn)中的破局者。

聚光科技依托二十余年在光譜、色譜、質(zhì)譜與自動化等領(lǐng)域的技術(shù)積淀，積極推出高度定制化、系統(tǒng)自動化的半導(dǎo)體行業(yè)專用創(chuàng)新產(chǎn)品與解決方案，在潔凈室氣態(tài)分子污染物監(jiān)測、半導(dǎo)體制程金屬污染檢測、半導(dǎo)體電子特氣泄漏檢測等應(yīng)用領(lǐng)域完成國產(chǎn)化布局，幫助客戶提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，同時為國產(chǎn)科學(xué)儀器在檢測領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展注入強(qiáng)勁動力。

和時間賽跑

與極限精度較量

在電子級化學(xué)品和晶圓拋光片的生產(chǎn)車間，哪怕是萬億分之一濃度的金屬雜質(zhì)，都可能成為良率滑坡的罪魁禍?zhǔn)住?/section>

譜育科技自主研發(fā)的EXPEC 7350系列ICP-MS/MS，采用創(chuàng)新三重四極桿架構(gòu)，穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)0.1ppt級別超高靈敏度，即便面對復(fù)雜基質(zhì)，也能精準(zhǔn)鎖定痕量雜質(zhì)。

EXPEC 7350系列ICP-MS/MS

經(jīng)過數(shù)千小時連續(xù)測試，EXPEC 7350系列ICP-MS/MS在檢出限、長期穩(wěn)定性、氧化物產(chǎn)率等關(guān)鍵指標(biāo)上，全面超越國際同類標(biāo)準(zhǔn)，真正實(shí)現(xiàn)了材料檢測的自主可控。

硅烷、磷烷、三氟化氮……在芯片工廠，這些特氣一旦泄漏，后果難以想象。

針對特氣泄漏風(fēng)險，譜育科技推出的GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測器，集成智能傳感器平臺，能夠精準(zhǔn)偵測40余種半導(dǎo)體特氣，為廠區(qū)安全運(yùn)行構(gòu)建起一道道堅實(shí)防線。在實(shí)際應(yīng)用中，該系統(tǒng)已為某個12英寸晶圓項(xiàng)目提供全天候氣體泄漏監(jiān)測，有效提升了廠區(qū)的生產(chǎn)安全水平。

GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測器

隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷邁向5nm乃至3nm，微量氣態(tài)污染也可能導(dǎo)致產(chǎn)品報廢。半導(dǎo)體行業(yè)對檢測設(shè)備的靈敏度、穩(wěn)定性與響應(yīng)速度提出了的高標(biāo)準(zhǔn)。污染早發(fā)現(xiàn)、早控制，成為產(chǎn)線安全運(yùn)行的底層邏輯。

在半導(dǎo)體廠區(qū)，譜育科技AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)通過分布式多點(diǎn)采樣，集成GC-MS、CRDS等先進(jìn)技術(shù)，將廠區(qū)空氣環(huán)境編織成一張無形的“感知之網(wǎng)"，實(shí)時鎖定ppb級污染風(fēng)險。采樣管路覆蓋范圍可達(dá)200米，檢出限低至0.1ppb，幫助客戶第一時間預(yù)警微小污染源，防患于未然。

AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)

為了滿足快速布控與局部排查需求，譜育科技還推出了移動推車式AMC監(jiān)測系統(tǒng)，內(nèi)置大容量電池與獨(dú)立觸控終端，脫離市電也能持續(xù)監(jiān)測。

移動推車式AMC監(jiān)測系統(tǒng)

在潔凈室，一臺痕量氣體分析儀穩(wěn)定運(yùn)行，實(shí)時監(jiān)測車間環(huán)境中的氯化氫濃度。屏幕上報警信息同步推送，為產(chǎn)線調(diào)整爭取寶貴時間。

這臺設(shè)備正是聚光科技旗下子品牌如儀推出的SCA系列高精度痕量氣體分析儀。基于自主研發(fā)的CRDS技術(shù)，該設(shè)備可以在有限的光腔內(nèi)實(shí)現(xiàn)長達(dá)20千米的有效測量光程，對HF、NH?、HCl等有害氣體進(jìn)行ppb級別的實(shí)時監(jiān)測，各項(xiàng)指標(biāo)比肩進(jìn)口設(shè)備。

如儀SCA系列高精度痕量氣體分析儀

在過去，國內(nèi)相關(guān)檢測設(shè)備在靈敏度與穩(wěn)定性方面始終受限，難以滿足先進(jìn)工藝對潔凈環(huán)境的要求。聚光科技成功打破國外在CRDS技術(shù)領(lǐng)域的長期壟斷，自主構(gòu)建起完整技術(shù)體系，，助力半導(dǎo)體檢測實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)自主可控。

項(xiàng)目測試數(shù)據(jù)顯示，如儀SCA系列高精度痕量氣體分析儀的監(jiān)測數(shù)據(jù)與某進(jìn)口品牌設(shè)備一致性高達(dá)99.77%，氣體切換響應(yīng)時間10-20秒，成為產(chǎn)線上真正的“黃金救援助手"。

如儀SCA系列（HCI）比對測試數(shù)據(jù)

行業(yè)頭部背書

國產(chǎn)替代加速落地

如今，聚光科技的檢測裝備已助力國內(nèi)多家晶圓廠、半導(dǎo)體材料等企業(yè)穩(wěn)步提升產(chǎn)線良率與本質(zhì)安全水平，為“中國芯"保駕護(hù)航。

譜育科技EXPEC 7350系列已成功應(yīng)用于多家大型半導(dǎo)體企業(yè)。某寬禁帶半導(dǎo)體材料企業(yè)將該設(shè)備用于襯底拋光片、外延片及高純試劑中的痕量金屬檢測。經(jīng)過半年使用，設(shè)備表現(xiàn)穩(wěn)定，客戶對其性能及售后服務(wù)給予高度認(rèn)可。

EXPEC 7350系列應(yīng)用于某寬禁帶半導(dǎo)體材料企業(yè)

在制程芯片制造企業(yè)和8+12英寸集成電路制造企業(yè)，EXPEC 7350S型ICP-MS有效覆蓋G3~G5級化學(xué)品的質(zhì)控要求，實(shí)現(xiàn)了G5級硝酸、氫氟酸、雙氧水、IPA等試劑的過程品控。

在的12寸硅片制造企業(yè)和化合物半導(dǎo)體制造企業(yè)，譜育科技利用VPD與7350S組合方案，能夠?qū)崿F(xiàn)自動化監(jiān)測晶圓表面金屬離子沾污，滿足8-12寸硅片制造企業(yè)和化合物半導(dǎo)體制造企業(yè)的品控要求。

在某12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目中，GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測器為30余種有毒有害氣體建立了實(shí)時在線監(jiān)測體系，通過多層級報警聯(lián)動機(jī)制，大幅提升了生產(chǎn)環(huán)境的本質(zhì)安全水平。

GDM-2100 Series半導(dǎo)體氣體探測器助力某12英寸集成電路生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目

晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)潔凈室酸、堿、VOC等多類污染物的ppb級連續(xù)監(jiān)測。系統(tǒng)支持多點(diǎn)分布式采樣與靈活移動部署，為生產(chǎn)優(yōu)化與環(huán)境控制提供實(shí)時數(shù)據(jù)支撐。

晶圓廠采用AMC 1000微污染氣體監(jiān)測系統(tǒng)

某半導(dǎo)體廠在引入如儀SCA系列高精度痕量氣體分析儀后，發(fā)現(xiàn)其檢測精度與進(jìn)口設(shè)備相當(dāng)，響應(yīng)速度快，運(yùn)行穩(wěn)定，隨即加購一臺?？蛻舴答仯骸靶阅軐?biāo)進(jìn)口，服務(wù)響應(yīng)更快，國產(chǎn)儀器可以放心用。"

以科技自強(qiáng)

擎起中國“芯"力量

聚光科技，用科技創(chuàng)新擦亮了國產(chǎn)檢測裝備的底色，夯實(shí)了半導(dǎo)體制造的技術(shù)根基。

創(chuàng)新，從未止步；責(zé)任，始終在肩。

未來，聚光科技將繼續(xù)錨定國家戰(zhàn)略所需，聚焦產(chǎn)業(yè)發(fā)展所急，深耕科學(xué)儀器領(lǐng)域，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)走得更穩(wěn)、更遠(yuǎn)、更強(qiáng)。

以科技之光，照亮制造強(qiáng)國之路；以自主之力，支撐中國“芯"脈向上生長。

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國產(chǎn)儀器鍛造“芯”脈向上生長

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