您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 3萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 適用行業(yè) | 高純氣體分析專用 | 儀器種類 | 實(shí)驗(yàn)室 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,石油,能源,綜合 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳
GC-9280型氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)。
檢測(cè)項(xiàng)目：
項(xiàng)目 | 指 標(biāo) | ||
四氟化碳（CF4）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 4 | 20 | 40 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫（SF6）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 1 | 5 |
水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/含量，10-6 ＜ | 3 | 5 | 10 |
酸度（以HF計(jì)）含量含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它鹵碳化合物a含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 10 | 30 |
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。 | |||
產(chǎn)品的特點(diǎn):
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應(yīng)用氣體分離專用色譜柱分離預(yù)切再分離技術(shù)
◆ 采用可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測(cè)器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀
中心切割與反吹系統(tǒng)：
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng)，該系統(tǒng)由多個(gè)吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過工作站設(shè)置的時(shí)間程序自動(dòng)控制其進(jìn)樣、切換、切割與反吹等過程，完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)：
VALCO吹掃型十通閥：
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術(shù)
氣體全分析流程：
HP-2氦氣純化器：
可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作壓力：1000Psi
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度：≤10ppb
PDHID對(duì)部分雜質(zhì)的檢測(cè)限（ppb）
雜質(zhì)種類
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H4 | C2H6 | C2H2 | N2O | 苯 |
檢測(cè)限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 5 | 1 |
