見污染物

離子（m/z）

化合物

可能的來源

13,14,15,16

甲烷

CI氣

18,28,32,44或14,16

H20,N2,O2,CO2,CO2或N,O

殘留空氣和水，空氣泄漏，

Vespel密封墊圈漏氣

31,51,69,100,119,131,169,181,214,219,

PFTBA以及相關離子

PFTBA（調諧化合物）

264,376,414,426,464,000,000,000

31

甲醇

清潔溶劑

43,58

丙酮

清潔溶劑

78

苯

清潔溶劑

91,92

甲苯或二甲苯

清潔溶劑

105,106

二甲苯

清潔溶劑

151,153

三氯乙烷

清潔溶劑

69

前級泵油或PFTBA

前級泵油蒸氣或校準閥泄漏

73,147,207,221,281,200,000,000

二甲基聚硅氧烷

隔墊流失或甲基硅氧烷柱涂層

77,94,115,141,168,170,262,354,446

擴散泵油

擴散泵油和相關離子

149

增塑劑（鄰苯二甲酸酯類）

高溫使真空密封墊圈（O形圈）

損壞，使用乙烯或塑料手套

相隔14amu的峰

烴類

指紋、前級泵油

訂貨信息:

清洗和維護用消耗品

說明

部件號

一年維護工具包（用于擴散泵系統(tǒng)）

5183-2096

包括氦氣通用大捕集阱（1/8 英寸），砂紙（5/包），不起毛布（15/包），

棉簽（100/包），SantoVac Ultra，18.5 mL（2瓶），前級泵油（1升），

燈絲組件，八氟萘（OFN）

尼龍手套，不起毛，大號，1 副

8650-0030

尼龍手套，不起毛，小號，1 副

8650-0029

不起毛工業(yè)擦布，100% 棉，9 x 9 英寸，300/包

9310-4828

離子源清洗工具包

5181-8863

包括不起毛布（15/包）、砂紙（5/包）、

棉簽（100/包）、不起毛尼龍手套、研磨用氧化鋁粉

不起毛的布

05980-60051

棉簽，100/包

5080-5400

砂紙，氧化鋁綠色擦拭紙，600 目，5/包

5061-5896

氧化鋁粉，研磨，1 kg

8660-0791

檢驗合格的PFTBA 樣品，10 g

8500-0656

PFTBA 和PFDTD 測試樣品的可更換玻璃樣品瓶，5975

G3170-80002