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高精度激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件，具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。
多普勒效應(yīng)（Doppler Effect）: 任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質(zhì)或中間反射器的運(yùn)動(dòng)，會(huì)使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（Doppler Shift）, 其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運(yùn)動(dòng)有關(guān)。XL 激光頭射出的頻率為 f0, 經(jīng)過(guò)反射鏡反射回來(lái)到激光頭內(nèi)的探測(cè)器，當(dāng)反射鏡不動(dòng)時(shí)，其反射波頻率 fr= f0。當(dāng)反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線性軸遠(yuǎn)離或者靠近激光頭時(shí)，因?yàn)楣獬淘黾踊驕p少了 2vt，反射波 fr的數(shù)值會(huì)減少或增加 2v /λ0，λ0為激光波長(zhǎng)。
通常將反射鏡設(shè)定為移動(dòng)光學(xué)部件，將干涉鏡設(shè)定為靜止部件。二者可以反過(guò)來(lái)，但是大測(cè)量距離將減少一半。因此，在超過(guò) 40m 行程的長(zhǎng)軸上測(cè)量時(shí)，必須線性干涉鏡靜止不動(dòng)，而另一個(gè)反射鏡移動(dòng)。而對(duì)行程小于 40m 的軸進(jìn)行測(cè)量時(shí)，為了方便測(cè)量，可以線性干涉鏡移動(dòng)，也可以反射鏡移動(dòng)。
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