氣體質(zhì)量流量控制器使用將*執(zhí)行器控制技術(shù)和阿自倍爾自有的微流量熱質(zhì)量流量傳感器相結(jié)合的檢測單元。 
由于μF傳感器的特性，可在廣泛的流量控制范圍內(nèi)實現(xiàn)快速響應。 
這些控制器適用于制造廠用于玻璃加工的低壓氣體，釬焊過程中的火控，以及傳統(tǒng)質(zhì)量流量控制器無法輕易調(diào)節(jié)的其他過程。 
我們多元化的產(chǎn)品陣容擴大了可能的應用范圍。

主要特點
反應快
具有非常小的熱質(zhì)量的微型MEMS傳感器直接與氣體??接觸以實現(xiàn)快速響應。
高準確率
我們的μF傳感器隨著時間的推移幾乎不會改變其特性，確保長時間的高精度。
廣泛的產(chǎn)品陣容
為了滿足客戶的應用需求，有多種產(chǎn)品可用于測量0-5 mL / min至500 L / min的各種流量范圍。
降低壓力損失
通過在通道壁上安裝μF傳感器，可將這些儀表中的壓力損失保持在zui低水平，從而將突起和由此產(chǎn)生的流動阻力降至zui低。因此，它們非常適合測量和控制低壓下的氣體流量。
各種功能
我們通過開發(fā)控制設(shè)備而獲得的豐富的微型計算機技術(shù)提供了傳統(tǒng)質(zhì)量流量計中的一系列功能。 
這些功能包括瞬時或累計流量顯示，氣體類型切換，上限和下限報警輸出，模擬量輸出，累加器脈沖輸出和通訊功能。（可用的功能取決于特定的產(chǎn)品。）
質(zhì)量流量測量
這些儀表可以測量空氣或氣體的流量，并將其轉(zhuǎn)換為標準條件，而不管操作溫度和壓力如何。 
（換算成標準狀態(tài)的流量是1個大氣壓和0℃[或20℃]時的體積流量。）
測量范圍寬
傳統(tǒng)的氣體流量計在測量低流速時通常比在接近其zui大限度的流速時更難以測量。阿自倍爾專有的μF傳感器可以實現(xiàn)更廣泛的測量和控制。CMS系列質(zhì)量流量計的可調(diào)比高達100：1，CML系列高流量質(zhì)量流量計的可調(diào)比高達160：1（測量范圍為1,280：1）！ 
這些質(zhì)量流量計非常適用于控制空氣或氣體消耗，并通過檢查泄漏來節(jié)省能源。

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