納米加工是在納米尺度下進(jìn)行設(shè)備的設(shè)計(jì)與制造。如果您需要加工納米級(jí)的結(jié)構(gòu)，使用離子或電子等帶電粒子將是您的*。 離子或電子束與樣品表面之間的相互作用可以用于表面結(jié)構(gòu)或表面特性的操控。不同的氣體組合使用，能夠控制復(fù)雜的流程，如進(jìn)行材料刻蝕或材料沉積。這樣便可以創(chuàng)建具有復(fù)雜的機(jī)械、電子、光學(xué)、磁性或流體功能的新材料和系統(tǒng)。
納米加工、圖案和光刻
現(xiàn)今與未來(lái)的應(yīng)用需要材料具備更佳的電子、磁性、光學(xué)和機(jī)械特性。大部分的這類(lèi)需要 100nm 以下的結(jié)構(gòu)和組份來(lái)定義。蔡司是能夠提供從毫米到納米范圍結(jié)構(gòu)加工解決方案的供應(yīng)商。 您還可以使用 ORION NanoFab 多離子顯微鏡加工具有高深寬比的亞 10 nm 結(jié)構(gòu)。這一技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于氦和氖離子束光刻不會(huì)產(chǎn)生任何鄰近效應(yīng)，從而獲得均一的嵌套圖案，且無(wú)需進(jìn)行劑量調(diào)整。
納米光子學(xué)、等離子學(xué)和超材料
超材料是一種人造材料，通過(guò)改變表面結(jié)構(gòu)來(lái)修改其光磁特性。光子晶體結(jié)構(gòu)可以提高光學(xué)器件的性能，這一點(diǎn)對(duì)透射光和光學(xué)測(cè)量的所有產(chǎn)品非常有用。 FIB 圖案解決方案是建立這種結(jié)構(gòu)的高性能工具。而 ORION NanoFab 則是加工等離子結(jié)構(gòu)的良好儀器，該結(jié)構(gòu)可在光學(xué)頻率或更高頻率范圍內(nèi)呈現(xiàn)出表面或局部等離子效應(yīng)。
石墨烯研究
石墨烯是很有前景的新型材料。如果將其加工成特定形狀，您就能夠調(diào)節(jié)其某些特性，比如帶隙。石墨烯是一種非常易碎的材料，因?yàn)樗挥袉蝹€(gè)原子的厚度，所以需要非常精細(xì)的加工。憑借 ORION NanoFab 精細(xì)且的加工能力，您可以加工亞 10 nm 級(jí)的復(fù)雜石墨烯設(shè)備。
納米顆粒
納米顆粒在催化劑領(lǐng)域或現(xiàn)代納米材料應(yīng)用領(lǐng)域至關(guān)重要。您希望以納米乃至亞納米級(jí)尺度表征大小、形狀、化學(xué)組份及分布，當(dāng)然也需要檢測(cè)納米顆粒中小顆粒的重要特性。 ATLAS 3D 軟件能以較高分辨率進(jìn)行大面積樣品采集，從而讓您可在聚合物基質(zhì)中查找特定納米顆粒并對(duì)其進(jìn)行分析。