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光學(xué)膜厚儀的應(yīng)用和原理

來源:優(yōu)尼康科技有限公司   2020年04月09日 09:59  

光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測(cè)量?jī)x器,一般會(huì)運(yùn)用在生產(chǎn)廠商生產(chǎn)產(chǎn)品的過程,由于誤差經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢,這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造業(yè),光刻膠、氧化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層的厚度測(cè)量。

生物醫(yī)學(xué)原件:聚合物/聚對(duì)二甲苯;生物膜/球囊壁厚度;植入藥物涂層。

微電子:光刻膠;硅膜;氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡                       

液晶顯示器:盒厚;聚酰亞胺;導(dǎo)電透明膜

由于是光學(xué)測(cè)量,在測(cè)量時(shí)候無須擔(dān)心破壞樣品,讓用戶簡(jiǎn)單快速地測(cè)量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過對(duì)待測(cè)膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測(cè)量結(jié)果。

優(yōu)尼康科技有限公司提供的光學(xué)膜厚儀,是一款桌面型的產(chǎn)品,操作簡(jiǎn)單,適用領(lǐng)域廣闊,遠(yuǎn)程的在線技術(shù)支持,讓膜厚測(cè)量更輕松。

系統(tǒng)特點(diǎn):

嵌入式在線診斷方式;

免費(fèi)離線分析軟件;

精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果

優(yōu)尼康主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供的一對(duì)一*,技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。

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