工具顯微鏡的干涉照明和應用

來源：上海富萊光學科技有限公司 2020年05月27日 14:52

　　在工具顯微鏡上采用干涉照明，可以提高測量圓柱體和螺紋的瞄準精度。干涉條紋是如何產(chǎn)生的？都能完成哪些測量？

　　干涉照明

　　工具顯微鏡在一般照明條件下，由于圓柱面和螺旋面的輪廓影像不夠清晰，測量時，瞄準精度低。

　　“干涉法”是對照明系統(tǒng)作適當調(diào)節(jié)，使輪廓影像邊緣產(chǎn)生干涉條紋，以測角目鏡分劃板刻線瞄準輪廓影像邊緣的干涉條紋，代替直接瞄準影像輪廓的測量方法。由于干涉條紋很細，又很清晰，所以比直接瞄準影像輪廓要準確得多。

　　干涉條紋是由于底光照明直接進入物鏡的光束和經(jīng)被測表面反射的光束在空間迭加，產(chǎn)生干涉現(xiàn)象而形成。條紋可有多條，通常以離被測件輪廓近的第1條作為瞄準目標。

　　使工具顯微鏡的照明產(chǎn)生干涉條紋的方法是：采用5×物鏡，把照明光欄口徑關到小，照明電壓開到大，就能在輪廓影像邊緣看到干涉條紋；把黑紙當中剪一個小孔放在底光照明聚光鏡表面，把光欄口徑和照明電壓都開到大，效果也不錯。

　　干涉照明的調(diào)焦方式也在輪廓影像的邊與普通照明不同,調(diào)焦過程中，可以看到干涉條紋離輪廓自遠而近，找到距離近的拐點，作為焦面。

　　應用

　　在工具顯微鏡上,干涉照明可用于螺紋螺距和牙側角的測量。測量時，用測角目鏡米字線與第1條干涉條紋重合，或?qū)⒚鬃志€夾在螺紋輪廓和第1條干涉條紋之間。

　　干涉照明不適合測量螺紋中徑，請使用三針在端度儀器上測量。

　　某些文獻給出了用干涉照明測量圓柱體直徑和螺紋中徑的方法，由于難于準確獲得輪廓到干涉條紋的距離，應慎用。建議使用端度儀器測量，會更加準確。

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