手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
PECVD管式爐可使用1200度以下，以硅碳棒或電阻絲為加熱元件，主要特點(diǎn)是分為上下兩個半圓，在高溫狀態(tài)下需要急速冷卻或換管子時，可以打開爐膛，觀察物料在高溫狀態(tài)下燒結(jié)狀態(tài)；雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。此款開啟式管式爐也可以有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。
PECVD管式爐的主要特點(diǎn)：
1.氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好；
2.AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進(jìn)行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——科探AIO控制系統(tǒng)；
3.管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實(shí)時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。
4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力；
5.射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運(yùn)行；
6.爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實(shí)驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離；
7.整機(jī)結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
PECVD管式爐的使用安全性：
1、爐膛開啟自動斷電功能，使?fàn)t門打開后自動斷電。
2、超溫保護(hù)功能，當(dāng)溫度超過允許設(shè)定值后，自動斷電及報警。
3、漏電保護(hù)功能，當(dāng)爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心