手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
EVG 510-晶圓鍵合機(jī)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘。
EVG 510-晶圓鍵合機(jī)特征：
1.壓力和溫度均勻性。
2.兼容EVG機(jī)械和光學(xué)對準(zhǔn)器。
3.靈活的設(shè)計(jì)和配置，用于研究和試生產(chǎn)。
4.將單芯片形成晶圓。
5.各種工藝(共晶，焊料，TLP，直接鍵合)。
6.可選的渦輪泵(<1E-5 mbar)。
7.可升級用于陽極鍵合。
8.開室設(shè)計(jì)，易于轉(zhuǎn)換和維護(hù)。
9.生產(chǎn)兼容。
10.高通量，具有快速加熱和泵送規(guī)格。
11.通過自動(dòng)楔形補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。
12.開室設(shè)計(jì)，可快速轉(zhuǎn)換和維護(hù)。
13.200 mm鍵合系統(tǒng)的小占地面積：0.8 m 2。
14.程序與EVG的大批量生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)兼容。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心