半導(dǎo)體激光氣體分析儀的校準(zhǔn)周期約為3個月至半年以上。校準(zhǔn)的基本方法是在校準(zhǔn)氣室中通入標(biāo)準(zhǔn)氣體對分析儀進行校準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度由測量時被測氣體產(chǎn)生的吸收信號的大小決定。

對于采用原位測量方式的激光氣體分析儀，由于測量現(xiàn)場的溫度、壓力、光程與校準(zhǔn)環(huán)境的溫度、壓力、光程有所差別，為了在校準(zhǔn)環(huán)境下產(chǎn)生與測量現(xiàn)場相同的吸收率信號,校準(zhǔn)使用的標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度是經(jīng)過等效計算的濃度值（該濃度往往與測量現(xiàn)場的滿量程濃度值不同)。因此，用戶在進行量程校準(zhǔn)時，標(biāo)準(zhǔn)氣體應(yīng)盡量使用儀表廠商推薦的濃度值。

進行校準(zhǔn)時還需要注意以下幾點。

①在進行校準(zhǔn)操作前，應(yīng)依據(jù)廠商定的預(yù)熱方法對儀器進行充分預(yù)熱。

②在對原位式激光氣體分析儀進行校準(zhǔn)時，一定要注意正確設(shè)定并輸入校準(zhǔn)光程、溫度和壓力等參數(shù)。在完成校準(zhǔn)操作之后進行現(xiàn)場測量時，應(yīng)返回測量光程、溫度和壓力等參數(shù)。

③在進行量程校準(zhǔn)前，建議先通入零點氣（采用高純氮氣)，對系統(tǒng)的測量零點進行檢查。一般來說激光氣體分析儀自身零點漂移極小，無需周期性調(diào)零,但若出現(xiàn)零點漂移時,可使用調(diào)零功能來講來進行校準(zhǔn)。

④對于一些在校準(zhǔn)時需要進行吹掃的激光氣體分析儀（如氧氣激光氣體分析儀)，一定要在校準(zhǔn)前檢查吹掃氣的純度，防止因吹掃氣體含有被測組分而造成校準(zhǔn)異常。

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