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SEM力學(xué)樣品臺是在標準樣品臺的基礎(chǔ)上設(shè)計力學(xué)控制模塊和控制單元。該系統(tǒng)采用感應(yīng)微壓頭，在掃描電鏡內(nèi)可直接觀察納米機械測試，不僅可以對納米材料進行機械擠壓的成像，而且同時可以獲取載荷-位移數(shù)據(jù)。
在使用SEM力學(xué)樣品臺實驗時，用戶選擇Push-to-Pull模塊可實現(xiàn)樣品拉伸實驗，或者選擇加熱模塊可實現(xiàn)熱場和力場耦合實驗，加熱模塊可選搭載push-to-pull模塊的程序升溫方式（RT-1000℃，1K），或者選擇加電模塊（*大電壓±50V，電流范圍： pA~mA ）。SEM力學(xué)樣品臺可以應(yīng)用的范圍有：
1、材料力學(xué)研究
（1）力和位移瞬態(tài)效應(yīng)相關(guān)材料的研究
（2）位錯卒發(fā)研究
（3）應(yīng)力下的晶相轉(zhuǎn)變研究
（4）納米線、納米球的力學(xué)測試，剪切帶或者斷裂發(fā)生
（5）材料失效分析
2、材料力學(xué)測試
（1）壓痕測試
（2）拉伸測試（配拉伸臺）
（3）納米壓痕測試
（4）納米劃痕測試
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